存储库的密封门装置
摘要:
本发明公开了一种存储库的密封门装置,包括机架,其上贯穿设置有左右连通的料口,料口内设有用以容置晶圆盒的暂存位;门板组件,设置有两组并分别位于料口的两侧;每组门板组件均包括启闭驱动部、门板部,门板部在启闭驱动部的作用下升降移动以启闭料口;门板部包括内门板、外门板、弹性件,内门板靠近料口设置,并通过弹性件与外门板连接;外门板与启闭驱动部连接;压紧组件,与门板组件一一对应设置,其包括止挡部、联动部;止挡部设置在机架上并位于料口的上方,用以供对应的门板组件的内门板抵接;联动部设置在内门板、外门板之间,并能上下摆动以使内门板向靠近或远离外门板的方向移动。本发明能有效抑制氮气在料口处的外漏问题。
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