发明公开
CN118888486A 存储库的密封门装置
审中-公开
- 专利标题: 存储库的密封门装置
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申请号: CN202411347871.0申请日: 2024-09-26
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公开(公告)号: CN118888486A公开(公告)日: 2024-11-01
- 发明人: 赵萌 , 吕如杰 , 刘帝
- 申请人: 尊芯智能科技(苏州)有限公司 , 尊芯(上海)半导体科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G4-301-076单元;
- 专利权人: 尊芯智能科技(苏州)有限公司,尊芯(上海)半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 尊芯智能科技(苏州)有限公司,尊芯(上海)半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G4-301-076单元;
- 代理机构: 苏州晋泰诚专利代理事务所
- 代理商 王晨光
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/677 ; E05F15/57
摘要:
本发明公开了一种存储库的密封门装置,包括机架,其上贯穿设置有左右连通的料口,料口内设有用以容置晶圆盒的暂存位;门板组件,设置有两组并分别位于料口的两侧;每组门板组件均包括启闭驱动部、门板部,门板部在启闭驱动部的作用下升降移动以启闭料口;门板部包括内门板、外门板、弹性件,内门板靠近料口设置,并通过弹性件与外门板连接;外门板与启闭驱动部连接;压紧组件,与门板组件一一对应设置,其包括止挡部、联动部;止挡部设置在机架上并位于料口的上方,用以供对应的门板组件的内门板抵接;联动部设置在内门板、外门板之间,并能上下摆动以使内门板向靠近或远离外门板的方向移动。本发明能有效抑制氮气在料口处的外漏问题。
IPC分类: