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公开(公告)号:CN118888486A
公开(公告)日:2024-11-01
申请号:CN202411347871.0
申请日:2024-09-26
申请人: 尊芯智能科技(苏州)有限公司 , 尊芯(上海)半导体科技有限公司
IPC分类号: H01L21/67 , H01L21/677 , E05F15/57
摘要: 本发明公开了一种存储库的密封门装置,包括机架,其上贯穿设置有左右连通的料口,料口内设有用以容置晶圆盒的暂存位;门板组件,设置有两组并分别位于料口的两侧;每组门板组件均包括启闭驱动部、门板部,门板部在启闭驱动部的作用下升降移动以启闭料口;门板部包括内门板、外门板、弹性件,内门板靠近料口设置,并通过弹性件与外门板连接;外门板与启闭驱动部连接;压紧组件,与门板组件一一对应设置,其包括止挡部、联动部;止挡部设置在机架上并位于料口的上方,用以供对应的门板组件的内门板抵接;联动部设置在内门板、外门板之间,并能上下摆动以使内门板向靠近或远离外门板的方向移动。本发明能有效抑制氮气在料口处的外漏问题。
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公开(公告)号:CN118701952A
公开(公告)日:2024-09-27
申请号:CN202411197465.0
申请日:2024-08-29
申请人: 尊芯智能科技(苏州)有限公司
IPC分类号: B66C7/12 , B66C13/16 , B66C9/04 , H01L21/677
摘要: 本发明属于轨道检测技术领域,公开了一种弯轨装配方法、计算机程序及电子设备,该弯轨装配方法,包括:弯轨设置步骤,同心设置第一弯轨和第二弯轨;检测步骤,测量至少两组所述第一弯轨和所述第二弯轨在同一圆周角度上的对应部位之间的径向距离数据;比对步骤:将所述两组径向距离数据与标准径向距离数据分别比对得到第一差值,若所述第一差值在预设的误差范围内,则判定所述弯轨设置完成;若所述第一差值在预设的误差范围外,则进入如下步骤:更换步骤:更换至少一条弯轨,并重复所述弯轨设置步骤、所述检测步骤和所述比对步骤直到所述弯轨设置完成。本发明公开的弯轨装配方法,能够方便、准确地装配弯轨。
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公开(公告)号:CN118619100A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202411099299.0
申请日:2024-08-12
申请人: 尊芯智能科技(苏州)有限公司
摘要: 本专利涉及天车领域,特别地涉及一种天车运输系统的轨道装置、天车装置与天车系统。包括:两个间隔设置的轨道,用于挂装天车装置,轨道具有弯道部。引导条,设置在两个轨道的弯道部之间。引导条包括:引导条本体,用于支撑天车装置的分歧轮,使分歧轮保持在预设的偏移位置并具有第一偏移量,以便将天车装置的一侧保持在抬升状态。第一过渡条,包括:第一过渡段,用于逐渐增加分歧轮偏移量直至达到第一偏移量,以便将分歧轮引导至引导条本体上。第一平面段,第一平面段的两端分别连接第一过渡段和引导条本体。引导条能在天车装置过弯时将天车装置的一侧抬起,以依靠一侧的行走轮进行过弯,避免了天车装置两侧的行走距离不同发生抖动。
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