本发明公开了一种含有SiO2、Ti的HUD膜及其制备工艺，含有SiO2、Ti的HUD膜包括依次层叠设置的基材层、打底层、TiO2层、金属层以及SiO2层，所述SiO2层通过磁控镀膜溅射工艺形成，所述磁控镀膜溅射工艺中选用的靶材为包括硅和铝的混合靶，轰击所述靶材的反应气体为包括氩气、氮气以及氧气的混合气体。本发明通过设置TiO2层、以及通过包括氩气、氮气以及氧气的混合气体轰击包括硅和铝的混合靶形成SiO2层，使得最终形成的HUD膜耐磨性好，且P光和S光的反射效果好，环测效果好。因此，能够有效地应用于汽车前风挡玻璃，为驾驶员提供清楚完整的驾驶信息，确保驾驶的安全。