- 专利标题: 电沉积-磁控溅射制备加速器中子源锂靶过渡层的方法
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申请号: CN202411426016.9申请日: 2024-10-14
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公开(公告)号: CN118957584A公开(公告)日: 2024-11-15
- 发明人: 谢宇鹏 , 王雅茹 , 张凡曦 , 司怡昕
- 申请人: 华硼中子科技(杭州)有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市上城区九环路63号2幢A座135室
- 专利权人: 华硼中子科技(杭州)有限公司
- 当前专利权人: 华硼中子科技(杭州)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市上城区九环路63号2幢A座135室
- 代理机构: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109专利代理师何俊
- 主分类号: C23C28/02
- IPC分类号: C23C28/02 ; C25D3/38 ; A61N5/10 ; C23C14/16 ; C23C14/35 ; G21G4/02
摘要:
本发明涉及中子源靶领域,公开了一种电沉积‑磁控溅射制备加速器中子源锂靶过渡层的方法,包括:1)将铜基体作为阴极,铜片作为阳极,置于含铜离子的电解液中,进行电化学沉积,于铜基体表面形成具有粗糙表面的铜沉积层;2)通过磁控溅射于铜沉积层表面构建过渡层。本发明首先通过电化学沉积法对铜基体进行表面处理,调整沉积参数可实现单质铜在基体表面粗糙度的调控,该方法可适用于各种形状的铜基体;在此基础之上本发明再通过磁控溅射技术,在粗糙基体表面实现过渡层的沉积,所得过渡层与基体之间内应力小,结合力高。
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