电沉积-磁控溅射制备加速器中子源锂靶过渡层的方法
摘要:
本发明涉及中子源靶领域,公开了一种电沉积‑磁控溅射制备加速器中子源锂靶过渡层的方法,包括:1)将铜基体作为阴极,铜片作为阳极,置于含铜离子的电解液中,进行电化学沉积,于铜基体表面形成具有粗糙表面的铜沉积层;2)通过磁控溅射于铜沉积层表面构建过渡层。本发明首先通过电化学沉积法对铜基体进行表面处理,调整沉积参数可实现单质铜在基体表面粗糙度的调控,该方法可适用于各种形状的铜基体;在此基础之上本发明再通过磁控溅射技术,在粗糙基体表面实现过渡层的沉积,所得过渡层与基体之间内应力小,结合力高。
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