- 专利标题: 驱动装置、光学系统、与光刻设备
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申请号: CN202380031139.X申请日: 2023-03-31
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公开(公告)号: CN118974652A公开(公告)日: 2024-11-15
- 发明人: C·里克特 , O·赫布斯特 , A·蒙塔格内
- 申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 申请人地址: 德国上科亨
- 专利权人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国上科亨
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所 11105专利代理师王蕊瑞
- 优先权: 102022203255.1 2022.04.01 DE
- 国际申请: PCT/EP2023/058440 2023.03.31
- 国际公布: WO2023/187148 EN 2023.10.05
- 进入国家日期: 2024-09-27
- 主分类号: G03F7/00
- IPC分类号: G03F7/00 ; H03F3/20 ; H02N2/02 ; G02B7/185 ; G02B26/08
摘要:
一种驱动装置(100),用于驱动和测量致动器(200),致动器用于致动光学系统(300)的光学元件(310),驱动装置包括:驱动单元(110),其具有频率相关第一转移函数(G1),第一转移函数(G1)配置成放大具有至少第一频率范围(F1)和第二频率范围(F2)的时间相关AC电压信号(W),以形成用于致动器(200)的驱动电压(AS),使得第一频率范围(F1)相对于第二频率范围(F2)以特定因子经受更高的增益;电压测量单元(120),其用于提供测量电压(U)并配置为在时域中将致动器(200)的时间相关电压(u)与第二转移函数(G2)进行卷积运算,第二转移函数(G2)基于第一转移函数(G1)的反函数,随后所述测量时间相关电压以提供测量电压(U);以及电流测量单元(130),其用于提供测量电流(I)并配置为在时域中将致动器(200)的时间相关电流(i)与第三转移函数(G3)进行卷积运算,第三转移函数(G3)基于第一转移函数(G1)的反函数,以及配置为随后测量时间相关电流以提供测量电流(I)。