公开(公告)号：CN118974652A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380031139.X

申请日：2023-03-31

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： C·里克特 ,  O·赫布斯特 ,  A·蒙塔格内

IPC分类号： G03F7/00 ,  H03F3/20 ,  H02N2/02 ,  G02B7/185 ,  G02B26/08

摘要： 一种驱动装置(100)，用于驱动和测量致动器(200)，致动器用于致动光学系统(300)的光学元件(310)，驱动装置包括：驱动单元(110)，其具有频率相关第一转移函数(G1)，第一转移函数(G1)配置成放大具有至少第一频率范围(F1)和第二频率范围(F2)的时间相关AC电压信号(W)，以形成用于致动器(200)的驱动电压(AS)，使得第一频率范围(F1)相对于第二频率范围(F2)以特定因子经受更高的增益；电压测量单元(120)，其用于提供测量电压(U)并配置为在时域中将致动器(200)的时间相关电压(u)与第二转移函数(G2)进行卷积运算，第二转移函数(G2)基于第一转移函数(G1)的反函数，随后所述测量时间相关电压以提供测量电压(U)；以及电流测量单元(130)，其用于提供测量电流(I)并配置为在时域中将致动器(200)的时间相关电流(i)与第三转移函数(G3)进行卷积运算，第三转移函数(G3)基于第一转移函数(G1)的反函数，以及配置为随后测量时间相关电流以提供测量电流(I)。