公开(公告)号：CN118974652A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380031139.X

申请日：2023-03-31

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： C·里克特 ,  O·赫布斯特 ,  A·蒙塔格内

IPC分类号： G03F7/00 ,  H03F3/20 ,  H02N2/02 ,  G02B7/185 ,  G02B26/08

摘要： 一种驱动装置(100)，用于驱动和测量致动器(200)，致动器用于致动光学系统(300)的光学元件(310)，驱动装置包括：驱动单元(110)，其具有频率相关第一转移函数(G1)，第一转移函数(G1)配置成放大具有至少第一频率范围(F1)和第二频率范围(F2)的时间相关AC电压信号(W)，以形成用于致动器(200)的驱动电压(AS)，使得第一频率范围(F1)相对于第二频率范围(F2)以特定因子经受更高的增益；电压测量单元(120)，其用于提供测量电压(U)并配置为在时域中将致动器(200)的时间相关电压(u)与第二转移函数(G2)进行卷积运算，第二转移函数(G2)基于第一转移函数(G1)的反函数，随后所述测量时间相关电压以提供测量电压(U)；以及电流测量单元(130)，其用于提供测量电流(I)并配置为在时域中将致动器(200)的时间相关电流(i)与第三转移函数(G3)进行卷积运算，第三转移函数(G3)基于第一转移函数(G1)的反函数，以及配置为随后测量时间相关电流以提供测量电流(I)。

公开(公告)号：CN118974663A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380031639.3

申请日：2023-03-29

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： C·里克特

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/185 ,  G02B26/08

摘要： 一种用于控制和测量致动器(200)的控制装置(100)，所述致动器(200)用于致动光学系统(300)的光学元件(310)，所述控制装置(100)具有：电压测量单元(130)，所述电压测量单元(130)用于提供指示基于特定模型(M)借助于激励信号(y(t))控制的致动器(200)的时间相关电压(u)的测量电压(U)，所述激励信号(y(t))包括用于测量所述致动器(200)的阻抗(Z)的至少一个正弦测量信号分量；电流测量单元(140)，所述电流测量单元(140)用于提供指示由激励信号(y(t))控制的致动器(200)的时间相关电流(i)的测量电流(I)；第一匹配滤波器单元(150)，所述第一匹配滤波器单元(150)用于使用所提供的测量电压(U)和激励信号(y(t))的特定模型(M)来估计在致动器(200)处产生的测量信号分量的电压幅度(aU)和相关相位(φU)；第二匹配滤波器单元(160)，用于使用所提供的测量电流(I)和激励信号(y(t))的特定模型(M)来估计在致动器(200)处产生的测量信号分量的电流幅度(aI)和相关相位(φI)；以及计算单元(170)，其被配置为基于估计的电压幅度(aU)、估计的相关相位(φU)、估计的电流幅度(aI)和估计的相关相位(φI)来计算致动器(200)的阻抗(Z)。