本发明涉及光伏太阳能技术领域，公开了一种延长石英件使用寿命的方法。为了防止硅在石英件表面附着，传统的且主流的做法是在石英件的表面形成隔绝保护层，以避免石英件表面直接附着硅，进而延长其使用寿命，但这些传统的隔绝保护膜层，无法防止硅的产生。本发明通过在石英件表面形成含氧的碳化硅膜层，避免硅在石英件表面的产生，很好地改善了石英件在长时间使用后的内应力作用，特别是，很好地改善了石英件的表层的应力作用，使得石英件在长时间使用后也不出现表面碎裂问题，石英件使用寿命可延长至2年以上。