本发明公开了一种基于平面X射线探测的缺陷定位方法和计算机设备，所述方法包括：将待测器件固定于平面X射线探测设备上，待测器件的长、宽、高分别对应于坐标系的X、Y、Z轴，利用平面X射线对待测器件进行一次探测成像，获取缺陷在X、Y轴方向上的一次位置坐标；使器件的长边一侧翘起一定角度，利用平面X射线对待测器件进行二次探测成像，获取缺陷在X、Y轴方向上的二次位置坐标；根据Y轴方向上的一次位置坐标和二次位置坐标以及器件翘起角度，计算得到缺陷在Z轴方向上的坐标。本发明采用平面X射线探测就能精准三维定位待测器件的内部缺陷，能够实现测试速度更快、经济成本更低的三维缺陷定位。