发明公开
CN1274857A 一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法
- 专利标题(英): Making process of great-angle Y-branch silicon luminous-power distributor
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申请号: CN00115582.2申请日: 2000-04-29
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公开(公告)号: CN1274857A公开(公告)日: 2000-11-29
- 发明人: 王跃林 , 王文辉 , 李铁 , 解健芳
- 申请人: 中国科学院上海冶金研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海冶金研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海冶金研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海华东专利事务所
- 代理商 张泽纯
- 主分类号: G02B6/28
- IPC分类号: G02B6/28 ; G03F7/09
摘要:
一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法,主要特点是采用掺杂的方法改变分支处的折射率,并采用先掺杂后键合和双面光刻工艺,在玻璃衬底上制作大角度Y分支硅光功率分配器,本方法的优点体现为背面掺杂正面刻蚀,因而掺杂深度适当减小,就可满足大截面脊形波导的要求;玻璃衬底对光的限制效果好。
公开/授权文献
- CN1109260C 一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法 公开/授权日:2003-05-21