一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法
摘要:
一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法,主要特点是采用掺杂的方法改变分支处的折射率,并采用先掺杂后键合和双面光刻工艺,在玻璃衬底上制作大角度Y分支硅光功率分配器,本方法的优点体现为背面掺杂正面刻蚀,因而掺杂深度适当减小,就可满足大截面脊形波导的要求;玻璃衬底对光的限制效果好。
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