公开(公告)号：CN1109260C

公开(公告)日：2003-05-21

申请号：CN00115582.2

申请日：2000-04-29

申请人： 中国科学院上海冶金研究所

发明人： 王跃林 ,  王文辉 ,  李铁 ,  解健芳

IPC分类号： G02B6/28 ,  G03F7/09

摘要： 一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法，主要特点是采用掺杂的方法改变分支处的折射率，并采用先掺杂后键合和双面光刻工艺，在玻璃衬底上制作大角度Y分支硅光功率分配器，本方法的优点体现为背面掺杂正面刻蚀，因而掺杂深度适当减小，就可满足大截面脊形波导的要求；玻璃衬底对光的限制效果好。

公开(公告)号：CN1274857A

公开(公告)日：2000-11-29

申请号：CN00115582.2

申请日：2000-04-29

申请人： 中国科学院上海冶金研究所

发明人： 王跃林 ,  王文辉 ,  李铁 ,  解健芳

IPC分类号： G02B6/28 ,  G03F7/09

摘要： 一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法,主要特点是采用掺杂的方法改变分支处的折射率,并采用先掺杂后键合和双面光刻工艺,在玻璃衬底上制作大角度Y分支硅光功率分配器,本方法的优点体现为背面掺杂正面刻蚀,因而掺杂深度适当减小,就可满足大截面脊形波导的要求;玻璃衬底对光的限制效果好。