发明公开
CN1304183A 形成氧化锌膜的方法和设备以及制造光生伏打器件的方法和设备、
失效 - 权利终止
- 专利标题： 形成氧化锌膜的方法和设备以及制造光生伏打器件的方法和设备、
- 专利标题（英）： Method and equipment for forming zinc oxide film, and method and apparatus manufacturing photovoltaic device
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申请号： CN00137603.9申请日： 2000-11-29
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公开(公告)号： CN1304183A公开(公告)日： 2001-07-18
- 发明人: 园田雄一 , 荒尾浩三 , 远山上 , 宫本祐介
- 申请人： 佳能株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 李德山
- 优先权： 337029/1999 1999.11.29 JP; 329907/2000 2000.10.30 JP
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; C25D9/04 ; C25D5/00
摘要：
电沉积方法,包括步骤:在电沉积液中输送衬底并在衬底上形成膜,从衬底表面除去颗粒。和电沉积设备,包括装电沉积液用的电沉积槽,衬底放置其上并输送连续长度衬底用的输送机;还包括从连续长度衬底表面除去颗粒用的装置。用所提供的方法和设备能防止由电沉积液中的粉尘或从电极脱落的膜构成的颗粒造成的麻烦,例如能防止在淀积了膜的衬底在输送过程中出现碰撞印记,能形成高质量的电沉积膜。
公开/授权文献
- CN1196202C 形成氧化锌膜的方法和设备以及制造光生伏打器件的方法和设备 公开/授权日：2005-04-06
IPC分类:
