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公开(公告)号:CN1218844A
公开(公告)日:1999-06-09
申请号:CN98125805.0
申请日:1998-10-15
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01L31/022466 , H01L31/056 , H01L31/075 , H01L31/1884 , Y02E10/52 , Y02E10/548
摘要: 在导电衬底上形成氧化铟膜的成膜方法,把所述衬底和相反电极浸入至少包含硝酸盐离子和铟离子的水溶液中,在所述衬底和相反电极之间通电流,由此在所述衬底上形成所述氧化铟膜。利用无电淀积工艺形成氧化铟膜的水溶液,至少包含硝酸盐离子,铟离子和酒石酸盐。利用所述的水溶液,通过无电淀积工艺,在衬底上形成氧化铟膜的成膜方法。利用所述成膜方法,制成半导体元件和光生伏打元件的衬底。
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公开(公告)号:CN1144901C
公开(公告)日:2004-04-07
申请号:CN97110926.5
申请日:1997-03-06
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01L31/076 , C25D5/10 , C25D9/08 , H01L31/056 , H01L31/075 , H01L31/1828 , H01L31/1884 , Y02E10/52 , Y02E10/543 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要: 用电解法稳定制造可极好粘接到衬底上的氧化锌薄膜的方法,特别是用作光电转换器件的光约束层的氧化锌薄膜,该方法是将导电衬底与电极浸在水溶液中,在浸在水溶液中的导电衬底与电极之间加电流,以在所述导电衬底上形成氧化锌膜,所述水溶液至少包含硝酸根离子,锌离子和碳水化合物,所述碳水化合物选自葡萄糖、果糖、麦芽糖、蔗糖、糊精、淀粉、或它们的混合物,所述碳水化合物的量在0.001至300g/l范围内,同时保持所述水溶液的温度至少在50℃,所述电流的电流密度是10mA/dm2至10A/m2。
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公开(公告)号:CN1159079A
公开(公告)日:1997-09-10
申请号:CN96121056.7
申请日:1996-09-27
申请人: 佳能株式会社
IPC分类号: H01L31/00
CPC分类号: H01L31/1884 , H01L31/03921 , H01L31/056 , H01L31/206 , Y02E10/52 , Y02P70/521 , Y10S136/291
摘要: 一种制造包含顺序层叠于含铁基片上的金属层、第一透明导电层、半导体层和第二透明导电层的光电器件的方法,包括通过由溶液淀积构成金属层的材料形成金属层和通过由溶液淀积构成第一透明导电层的材料形成第一透明导电层的步骤。
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公开(公告)号:CN1304183A
公开(公告)日:2001-07-18
申请号:CN00137603.9
申请日:2000-11-29
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01L31/076 , C23C28/322 , C23C28/345 , C25D5/028 , C25D5/48 , C25D7/0614 , C25D9/04 , H01L31/1836 , Y02E10/548
摘要: 电沉积方法,包括步骤:在电沉积液中输送衬底并在衬底上形成膜,从衬底表面除去颗粒。和电沉积设备,包括装电沉积液用的电沉积槽,衬底放置其上并输送连续长度衬底用的输送机;还包括从连续长度衬底表面除去颗粒用的装置。用所提供的方法和设备能防止由电沉积液中的粉尘或从电极脱落的膜构成的颗粒造成的麻烦,例如能防止在淀积了膜的衬底在输送过程中出现碰撞印记,能形成高质量的电沉积膜。
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公开(公告)号:CN1230032A
公开(公告)日:1999-09-29
申请号:CN99100758.1
申请日:1999-01-22
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01L31/1884 , C25D9/08 , H01L31/022483 , H01L31/02366 , H01L31/056 , H01L31/206 , Y02E10/52 , Y02P70/521 , Y10S428/935 , Y10T428/12549 , Y10T428/1259 , Y10T428/12611 , Y10T428/12618 , Y10T428/12639 , Y10T428/12743 , Y10T428/1275 , Y10T428/12757 , Y10T428/12764 , Y10T428/12979 , Y10T428/12986 , Y10T428/265
摘要: 提供一种带氧化锌层的基片,至少氧化锌层设置在支撑基片上,其中氧化锌层从支撑基片侧开始依次包括具有c轴垂直于支撑基片的氧化锌层和c轴向支撑基片倾斜的氧化锌层;以及半导体层形成在带氧化锌层的基片上的光电器件。由此提供具有优良的反射性质和光限制效应,以及高光电转换效率的廉价的光电器件。
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公开(公告)号:CN1179420C
公开(公告)日:2004-12-08
申请号:CN99100758.1
申请日:1999-01-22
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01L31/1884 , C25D9/08 , H01L31/022483 , H01L31/02366 , H01L31/056 , H01L31/206 , Y02E10/52 , Y02P70/521 , Y10S428/935 , Y10T428/12549 , Y10T428/1259 , Y10T428/12611 , Y10T428/12618 , Y10T428/12639 , Y10T428/12743 , Y10T428/1275 , Y10T428/12757 , Y10T428/12764 , Y10T428/12979 , Y10T428/12986 , Y10T428/265
摘要: 提供一种带氧化锌层的基片,至少氧化锌层设置在支撑基片上,其中氧化锌层从支撑基片侧开始依次包括具有c轴垂直于支撑基片的氧化锌层和c轴向支撑基片倾斜的氧化锌层;以及半导体层形成在带氧化锌层的基片上的光电器件。由此提供具有优良的反射性质和光限制效应,以及高光电转换效率的廉价的光电器件。
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公开(公告)号:CN1551378A
公开(公告)日:2004-12-01
申请号:CN200410049114.1
申请日:1999-01-22
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01L31/1884 , C25D9/08 , H01L31/022483 , H01L31/02366 , H01L31/056 , H01L31/206 , Y02E10/52 , Y02P70/521 , Y10S428/935 , Y10T428/12549 , Y10T428/1259 , Y10T428/12611 , Y10T428/12618 , Y10T428/12639 , Y10T428/12743 , Y10T428/1275 , Y10T428/12757 , Y10T428/12764 , Y10T428/12979 , Y10T428/12986 , Y10T428/265
摘要: 提供一种带氧化锌层的基片,至少氧化锌层设置在支撑基片上,其中氧化锌层从支撑基片侧开始依次包括具有c轴垂直于支撑基片的氧化锌层和c轴向支撑基片倾斜的氧化锌层;以及半导体层形成在带氧化锌层的基片上的光电器件。由此提供具有优良的反射性质和光限制效应,以及高光电转换效率的廉价的光电器件。
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公开(公告)号:CN1442882A
公开(公告)日:2003-09-17
申请号:CN03107359.X
申请日:1998-10-15
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01L31/022466 , H01L31/056 , H01L31/075 , H01L31/1884 , Y02E10/52 , Y02E10/548
摘要: 在导电衬底上形成氧化铟膜的成膜方法,把所述衬底和相反电极浸入至少包含硝酸盐离子和铟离子的水溶液中,在所述衬底和相反电极之间通电流,由此在所述衬底上形成所述氧化铟膜。利用无电淀积工艺形成氧化铟膜的水溶液,至少包含硝酸盐离子,铟离子和酒石酸盐。利用所述的水溶液,通过无电淀积工艺,在衬底上形成氧化铟膜的成膜方法。利用所述成膜方法,制成半导体元件和光生伏打元件的衬底。
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公开(公告)号:CN1168929A
公开(公告)日:1997-12-31
申请号:CN97110926.5
申请日:1997-03-06
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01L31/076 , C25D5/10 , C25D9/08 , H01L31/056 , H01L31/075 , H01L31/1828 , H01L31/1884 , Y02E10/52 , Y02E10/543 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要: 用电解法稳定制造可极好粘接到衬底上的氧化锌薄膜的方法,特别是用作光电转换器件的光约束层的氧化锌薄膜是在浸在水溶液中的导电衬底与电极之间加电流而形成的,所述溶液至少含有硝酸根离子,锌离子和碳水化合物。
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公开(公告)号:CN1196202C
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:CN00137603.9
申请日:2000-11-29
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01L31/076 , C23C28/322 , C23C28/345 , C25D5/028 , C25D5/48 , C25D7/0614 , C25D9/04 , H01L31/1836 , Y02E10/548
摘要: 电沉积方法,包括步骤:在电沉积液中输送衬底并在衬底上形成膜,从衬底表面除去颗粒。和电沉积设备,包括装电沉积液用的电沉积槽,衬底放置其上并输送连续长度衬底用的输送机;还包括从连续长度衬底表面除去颗粒用的装置。用所提供的方法和设备能防止由电沉积液中的粉尘或从电极脱落的膜构成的颗粒造成的麻烦,例如能防止在淀积了膜的衬底在输送过程中出现碰撞印记,能形成高质量的电沉积膜。
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