一种铁镍合金荫罩半成品,它表现出蚀刻穿孔形成的电子束通孔具有优秀的孔径均一性,该合金由34－38%Ni,0.05－0.5%Mn,4－20ppmS和余量Fe以及不超过指定极限的C,Si,Al和P组成,直径为50－1000纳米的MnS夹杂物以至少1500个/mm2的密度散布,或是当半成品在20℃3%硝酸－乙醇溶液中浸泡30秒后,具有密度至少为2000个/mm2的直径为0.5－10微米的蚀刻孔。一种制造半成品的方法,该方法包括在下列条件下对铁镍合金板材进行热轧,冷却、重结晶退火、冷轧等:例如在950－1250℃下将板材热轧成厚度为2－6毫米,以0.5℃/秒的速度在900－700℃范围内冷却该轧件,使轧件连续通过850－1100℃的加热炉进行重结晶退火,以便将重结晶晶粒的平均直径调节至5－30微米,在最终重结晶退火前以50－85%的压缩比进行冷轧,并以10－40%的压缩比进行最终的冷轧。