本发明涉及一种使用静电力吸附晶片W的静电吸盘16，静电吸盘16具有与晶片W相接触的多个突起部16C，并且，由包含平均粒径为1～2μm的氧化铝结晶颗粒的陶瓷介电体16A构成突起部16，同时，使突起部16C的与晶片W接触的接触面形成为依存于粒径的表面粗糙度Ra 0.2～0.3μm。由此，消除专利文献1中所记述的静电吸盘的由升降杆使晶片W跳起的顾虑。而且，解决专利文献2中所记述的静电吸盘的难以对晶片W面内温度均匀地进行控制的问题。