金属绝缘体半导体晶体管和互补金属氧化物半导体晶体管
摘要:
公开了在半导体衬底中形成的一种MIS三极管,它包括:半导体衬底(702,910),该半导体衬底具有其表面相对于衬底的主表面具有至少两个不同晶面(704,910B)的突出部;栅绝缘膜(708,920B),覆盖至少一部分构成所述突出部的表面的各个晶面;栅电极(706,930B),经所述栅绝缘膜形成在各个晶面上;以及相同电导率类型的扩散区(710a,710b,910c,910d),它们形成在突出部中面对各个晶面以及栅绝缘电极的两侧上。通过具有这种结构,MIS晶体管能够具有增加的沟道宽度的同时,抑制装置面积的增加。
0/0