发明公开
- 专利标题: 金属绝缘体半导体晶体管和互补金属氧化物半导体晶体管
- 专利标题(英): Mis transistor and cmos transistor
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申请号: CN200480016271.0申请日: 2004-06-11
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公开(公告)号: CN1806319A公开(公告)日: 2006-07-19
- 发明人: 大见忠弘 , 西牟田武史 , 宫城弘 , 须川成利 , 寺本章伸
- 申请人: 株式会社丰田自动织机 , 新泻精密株式会社 , 大见忠弘
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 株式会社丰田自动织机,新泻精密株式会社,大见忠弘
- 当前专利权人: 财团法人国际科学振兴财团,申请人
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 杨凯; 王忠忠
- 优先权: 170118/2003 2003.06.13 JP
- 国际申请: PCT/JP2004/008218 2004.06.11
- 国际公布: WO2004/112121 JA 2004.12.23
- 进入国家日期: 2005-12-12
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L29/78 ; H01L21/8238 ; H01L27/092
摘要:
公开了在半导体衬底中形成的一种MIS三极管,它包括:半导体衬底(702,910),该半导体衬底具有其表面相对于衬底的主表面具有至少两个不同晶面(704,910B)的突出部;栅绝缘膜(708,920B),覆盖至少一部分构成所述突出部的表面的各个晶面;栅电极(706,930B),经所述栅绝缘膜形成在各个晶面上;以及相同电导率类型的扩散区(710a,710b,910c,910d),它们形成在突出部中面对各个晶面以及栅绝缘电极的两侧上。通过具有这种结构,MIS晶体管能够具有增加的沟道宽度的同时,抑制装置面积的增加。
公开/授权文献
- CN1806319B 金属绝缘体半导体晶体管和互补金属氧化物半导体晶体管 公开/授权日:2011-04-06
IPC分类: