本发明能够使由液滴吐出法吐出的液滴的命中精度大幅度提高，在基板上直接形成微细且高精度的图案，以提供可应对基板的大型化的布线、导电层及显示装置的制作方法作为课题，并且，以提供使生产能力和材料的利用率提高的布线、导电层及显示装置的制作方法为课题。本发明的特征在于：主要在具有绝缘表面的基板上用液滴吐出法将抗蚀剂材料或布线材料直接进行图案形成时，可以使液滴命中精度大幅度提高。具体而言，就是在即将用液滴吐出法吐出液滴之前，按照所要的图案，在基板表面上的液滴命中位置扫描带电粒子束，之后，立即使带有与该带电粒子束相反符号的电荷的液滴吐出，使液滴命中位置的控制性能格外提高。