发明公开
CN1846312A 电极基板、薄膜晶体管、显示装置、及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 电极基板、薄膜晶体管、显示装置、及其制造方法
- 专利标题(英): Electrode substrate, thin film transistor, display device and their production
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申请号: CN200480024872.6申请日: 2004-08-18
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公开(公告)号: CN1846312A公开(公告)日: 2006-10-11
- 发明人: 安藤正彦 , 足立昌哉 , 佐佐木洋 , 若木政利
- 申请人: 株式会社日立制作所
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 株式会社日立制作所
- 当前专利权人: 株式会社日立制作所
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 王永刚
- 优先权: 312079/2003 2003.09.04 JP
- 国际申请: PCT/JP2004/012143 2004.08.18
- 国际公布: WO2005/024956 JA 2005.03.17
- 进入国家日期: 2006-02-28
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; G02F1/1368 ; G06K19/00 ; G09F9/00 ; G09F9/30 ; H01L21/288 ; H01L21/3205 ; H01L21/336
摘要:
本发明将下部电极利用为光掩模,在绝缘膜上形成与下部电极大致同一图形形状的疏液区域和大致反转图形形状的亲液区域,在亲液区域内涂敷烧结导电性油墨,对下部电极自对准形成大致反转图形形状的上部电极,所以即使采用印刷法也不发生位置偏移。因此,可以用印刷法形成有源矩阵型薄膜晶体管基板等的半导体器件。
公开/授权文献
- CN100481510C 电极基板、薄膜晶体管、显示装置及其制造方法 公开/授权日:2009-04-22
IPC分类: