发明公开
- 专利标题: 大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法
- 专利标题(英): Thermocompressed sintering and forming method for large size ceramic sputtering target material
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申请号: CN200510109055.7申请日: 2005-10-18
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公开(公告)号: CN1951873A公开(公告)日: 2007-04-25
- 发明人: 王星明 , 储茂有 , 段华英 , 黄松涛 , 张碧田 , 邓世斌 , 张明贤 , 龚述荣 , 潘德明
- 申请人: 北京有色金属研究总院
- 申请人地址: 北京市新街口外大街2号
- 专利权人: 北京有色金属研究总院
- 当前专利权人: 有研资源环境技术研究院(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市新街口外大街2号
- 代理机构: 北京北新智诚知识产权代理有限公司
- 代理商 朱丽华
- 主分类号: C04B35/645
- IPC分类号: C04B35/645 ; B28B3/04
摘要:
本发明公开了一种大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法,其方法步骤如下:A)称取制作靶材的粉体原料;B)按制作靶材的直径要求选定同直径的模具;C)将模具放进上加压、固定下压头基准面的热压炉炉体中;D)采用振动漏斗法装料,测量并保证模具内各局部的粉体堆积高度相同;E)热压并附加保护气氛,启动压机,开始加压,使上压头开始下移,在温度650℃~2100℃、压力15~40Mpa环境下保温保压20min-60min,直至靶材相对密度达到设计值;F)采用附加保压工艺保压,进一步制得溅射靶材的烧结坯体。
公开/授权文献
- CN100497260C 大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法 公开/授权日:2009-06-10
IPC分类: