大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法
摘要:
本发明公开了一种大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法,其方法步骤如下:A)称取制作靶材的粉体原料;B)按制作靶材的直径要求选定同直径的模具;C)将模具放进上加压、固定下压头基准面的热压炉炉体中;D)采用振动漏斗法装料,测量并保证模具内各局部的粉体堆积高度相同;E)热压并附加保护气氛,启动压机,开始加压,使上压头开始下移,在温度650℃~2100℃、压力15~40Mpa环境下保温保压20min-60min,直至靶材相对密度达到设计值;F)采用附加保压工艺保压,进一步制得溅射靶材的烧结坯体。
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