发明公开
- 专利标题： 狭缝喷嘴
- 专利标题（英）： Slit nozzle
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申请号： CN200610149985.X申请日： 2006-10-25
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公开(公告)号： CN1954924A公开(公告)日： 2007-05-02
- 发明人: 高濑真治 , 升芳明
- 申请人： 东京应化工业株式会社
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 东京应化工业株式会社
- 当前专利权人： 东京应化工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 雒运朴; 徐谦
- 优先权： 2005－312998 2005.10.27 JP
- 主分类号： B05B1/02
- IPC分类号： B05B1/02 ; B05C5/02 ; C03C17/00 ; H01L21/02
摘要：
本发明提供一种排出口的宽度在长度方向均匀的狭缝喷嘴。该狭缝喷嘴可降低由螺栓直接传递来的应力所导致的对涂敷分布的影响。在沿长度方向延伸的沟槽(16、17)上形成穿插螺栓(31)的通孔(11、12)的端部开口，而不是使之与对面的半体(2)的相对面直接接触，由此，螺栓(31)的紧固力不会集中在通孔(11、12)的开口周缘，而是在喷嘴的长度方向均匀地分散。其结果，狭缝状排出口(14)的宽度也变得均匀。
公开/授权文献
- CN100464873C 狭缝喷嘴 公开/授权日：2009-03-04
IPC分类:
