发明授权
CN1959954B 膜图案形成方法、器件、电光学装置以及电子机器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 膜图案形成方法、器件、电光学装置以及电子机器
- 专利标题(英): Film pattern forming method, device, electro-optical apparatus, and electronic appliance
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申请号: CN200610143913.4申请日: 2006-11-02
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公开(公告)号: CN1959954B公开(公告)日: 2011-09-14
- 发明人: 平井利充 , 守屋克之
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 汪惠民
- 优先权: 2005-320457 2005.11.04 JP
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768 ; H01L21/288 ; H01L21/3205 ; H01L21/00 ; H01L23/52 ; H05K1/02 ; H05K1/16 ; H05K3/10 ; H05B33/10 ; H05B33/12 ; B41J2/01 ; B41M3/00
摘要:
本发明的膜图案形成方法能够确保规定功能并且稳定地形成图案。形成有:将功能液配置在基板上而形成线状的第一膜图案(40)和比该第一膜图案(40)宽度窄且以基端部与第一膜图案(40)连接的第二膜图案(41)。具有:形成间壁(34)的工序,间壁(34)具有与第一膜图案(40)对应的第一开口部分(55)和与第二膜图案(41)对应的第二开口部分(56);和在第一开口部分(55)配置功能液的液滴,通过功能液的自流动将功能液配置在第二开口部分(56)的工序。第二膜图案(41)的前端部具有欠缺部分(41a),欠缺部分(41a)具有欠缺了矩形轮廓的形状。
公开/授权文献
- CN1959954A 膜图案形成方法、器件、电光学装置以及电子机器 公开/授权日:2007-05-09
IPC分类: