Utility Model
CN202195888U MEMS热电堆红外探测器芯片
失效 - 权利终止
- Patent Title: MEMS热电堆红外探测器芯片
- Patent Title (English): Chip for micro-electromechanical system (EMES) thermopile infrared detector
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Application No.: CN201120253189.7Application Date: 2011-07-18
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Publication No.: CN202195888UPublication Date: 2012-04-18
- Inventor: 李刚 , 桑新文
- Applicant: 苏州敏芯微电子技术有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米科技园A2楼213B房间
- Assignee: 苏州敏芯微电子技术有限公司
- Current Assignee: 苏州敏芯微电子技术有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米科技园A2楼213B房间
- Agency: 苏州威世朋知识产权代理事务所
- Agent 杨林洁; 黄晓明
- Main IPC: G01J5/10
- IPC: G01J5/10 ; B81B3/00

Abstract:
本实用新型涉及一种MEMS热电堆红外探测器芯片,包括内芯片和位于内芯片上的红外滤窗,内芯片含有衬底,衬底设有正面、背面及自正面凹陷形成的空气腔体,空气腔体未贯穿衬底的背面,正面设有支撑部和红外吸热层,红外吸热层位于支撑部和空气腔体内,其厚度大于支撑部且小于空气腔体,在支撑部上设有热电堆,衬底与红外吸热层分别形成热电堆的冷端与热端,热电堆包括由不同导电材料所制成的第一、第二导电层,第一、第二导电层通过其末端的第一、第二电极引出,所述第一、第二电极的顶部露出,热电堆是由与CMOS工艺相兼容的材料制成,该MEMS热电堆红外探测器芯片具有可制造性较高。
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