Utility Model

MEMS热电堆红外探测器芯片
Abstract:
本实用新型涉及一种MEMS热电堆红外探测器芯片,包括内芯片和位于内芯片上的红外滤窗,内芯片含有衬底,衬底设有正面、背面及自正面凹陷形成的空气腔体,空气腔体未贯穿衬底的背面,正面设有支撑部和红外吸热层,红外吸热层位于支撑部和空气腔体内,其厚度大于支撑部且小于空气腔体,在支撑部上设有热电堆,衬底与红外吸热层分别形成热电堆的冷端与热端,热电堆包括由不同导电材料所制成的第一、第二导电层,第一、第二导电层通过其末端的第一、第二电极引出,所述第一、第二电极的顶部露出,热电堆是由与CMOS工艺相兼容的材料制成,该MEMS热电堆红外探测器芯片具有可制造性较高。
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