一种带绝热护板的高效多晶硅锭铸锭炉
摘要:
本实用新型公开了一种带绝热护板的高效多晶硅锭铸锭炉,包括炉体、设置在炉体内的隔热笼体、设置在隔热笼体内的石英坩埚,其特征在于:石英坩埚底面贴附有底板,石英坩埚四周面贴附有护板,护板靠近底板一端通过绝热材料板与底板连接。本实用新型技术方案带来的有益效果在于:通过改变侧部加热器上下各部位的热量供应能力和坩埚四周护板、底板与DS散热块各部位的热传导能力,可以有效控制铸锭炉内部的温场分布,改善熔化和长晶界面中心上凸现象,使固液界面趋于平坦,且有利于长晶过程中杂质的排出,从而产出杂质含量少、晶粒相对均匀的高效多晶硅锭。
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