实用新型
CN203382848U 一种带绝热护板的高效多晶硅锭铸锭炉
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种带绝热护板的高效多晶硅锭铸锭炉
- 专利标题(英): High-efficient polycrystalline silicon ingot casting furnace with heat insulation protective plate
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申请号: CN201320501722.6申请日: 2013-08-16
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公开(公告)号: CN203382848U公开(公告)日: 2014-01-08
- 发明人: 林洪峰 , 冯媛 , 李书森 , 刘兴翀 , 兰洵 , 龙巍 , 赵秀生
- 申请人: 天威新能源控股有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区天威路1号(三星镇)
- 专利权人: 天威新能源控股有限公司
- 当前专利权人: 天威新能源控股有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区天威路1号(三星镇)
- 代理机构: 成都行之专利代理事务所
- 代理商 谭新民
- 主分类号: C30B11/00
- IPC分类号: C30B11/00 ; C30B28/06 ; C30B29/06
摘要:
本实用新型公开了一种带绝热护板的高效多晶硅锭铸锭炉,包括炉体、设置在炉体内的隔热笼体、设置在隔热笼体内的石英坩埚,其特征在于:石英坩埚底面贴附有底板,石英坩埚四周面贴附有护板,护板靠近底板一端通过绝热材料板与底板连接。本实用新型技术方案带来的有益效果在于:通过改变侧部加热器上下各部位的热量供应能力和坩埚四周护板、底板与DS散热块各部位的热传导能力,可以有效控制铸锭炉内部的温场分布,改善熔化和长晶界面中心上凸现象,使固液界面趋于平坦,且有利于长晶过程中杂质的排出,从而产出杂质含量少、晶粒相对均匀的高效多晶硅锭。
IPC分类: