三维纳米结构声表面波气敏传感器
摘要:
本实用新型涉及三维纳米结构声表面波气敏传感器,包括压电基底,置于该压电基底表面且相互平行的输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2以及敏感区,敏感区位于输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2之间,敏感区上具有三维纳米结构敏感膜,三维纳米结构敏感膜包括生长在敏感区上的改性三维纳米线或纳米管及涂覆在敏感区表面的敏感膜,改性三维纳米线或纳米管是在外表面附着有敏感膜的三维纳米线或纳米管。该气敏传感器集成度高、小体积、重量轻成本低,适用范围广,可在室温下工作,对低浓度气体检测时灵敏度高,更重要的是可以对多种气体进行快速、可靠的检测。
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