可拆分VGF单晶生长坩埚中环
摘要:
可拆分VGF单晶生长坩埚中环,涉及一种装料装置部件,尤其是一种可拆分VGF单晶生长坩埚中环。可拆分VGF单晶生长坩埚中环,该中环放置于上层坩埚与下层坩埚中间,上层坩埚与下层坩埚放置在石英管内,其特征在于该中环由石英外环、石英斜面和石英横杆组成,石英斜面放置于石英外环内,石英斜面上设置石英横杆,石英横杆抵在石英管管壁上,起固定作用。可拆分VGF单晶生长坩埚中环,设计科学,使用方便,有效降低成本,并且由于石英斜面和石英横杆可以重复利用,大幅提高了单位时间内的加工效率,对企业提高效率、降低成本有重要作用。
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