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公开(公告)号：CN105951170A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610495202.7
申请日：2016-06-30
申请人： 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 , 昆明云锗高新技术有限公司 , 云南鑫耀半导体材料有限公司
CPC分类号： C30B11/003 , C30B11/006 , C30B29/08
摘要： 本发明涉及一种新材料制备技术领域，具体为一种锗单晶生长炉及基于生长炉的锗单晶生长温度控制方法，该装置垂直固定在底座上，其特征在于该生长炉采用圆柱形不锈钢炉体，炉体侧壁自下而上设置若干个加热电极，沿炉体内侧设置环形的保温材料；沿炉体中轴底部设置支撑系统，支撑系统上架设石英异型管，石英异型管内自下而上依次设置下层坩埚、中环、上层坩埚以及封帽，石英异型管上方覆盖石英棉。生长炉针对8英寸锗单晶生长特点，结构精妙，温区设计合理。
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公开(公告)号：CN205688056U
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201620518771.4
申请日：2016-06-01
申请人： 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 , 昆明云锗高新技术有限公司 , 云南鑫耀半导体材料有限公司
摘要： VGF锗单晶生长炉支撑底座，涉及一种底座，尤其是一种VGF锗单晶生长炉支撑底座。本实用新型的VGF锗单晶生长炉支撑底座，其特征在于该装置由横杆、底板、活动块、散热孔和细圆棒构成；底板通过内六角螺栓固定在两根横杆之间，活动块拼接在底板侧面，底板与活动块相对的一侧都具有一个半圆孔，两者通过外六角螺栓连接构成一个圆孔，底板中间设置散热孔，两根细圆棒通过U型卡槽固定在散热孔的两侧。本实用新型的VGF锗单晶生长炉支撑底座，在保证能平稳、牢固地支撑炉芯、石英管及炉套的情况下，也能固定好石英棒与测温热电偶，且安装方便，使用简单，稳固性好，散热性好，实用性高，适合用在不同尺寸的VGF炉中。
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公开(公告)号：CN205915428U
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201620584184.5
申请日：2016-06-16
申请人： 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 , 昆明云锗高新技术有限公司 , 云南鑫耀半导体材料有限公司
摘要： 圆形石英棉切割工具，涉及一种切割工具，尤其是一种圆形石英棉切割工具。圆形石英棉切割工具，其特征在于该装置由手柄、管体、固定环和刀口构成，管体为中空圆柱形管材，手柄对称固定在管体的管壁之上，管体底端设置固定环，刀口通过固定螺丝安装在固定环底部。本实用新型的圆形石英棉切割工具，设计科学，结构简单，使用方便，简化了保温棉的制作过程，保温棉外形尺寸制作准确，提高了保温棉的制作效率。
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公开(公告)号：CN205774917U
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201620667264.7
申请日：2016-06-30
申请人： 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 , 昆明云锗高新技术有限公司 , 云南鑫耀半导体材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种新材料制备技术领域，具体为一种锗单晶生长炉，垂直固定在底座上，其特征在于该生长炉采用圆柱形不锈钢炉体，炉体侧壁自下而上设置若干个加热电极，沿炉体内侧设置环形的保温材料；沿炉体中轴底部设置支撑系统，支撑系统上架设石英异型管，石英异型管内自下而上依次设置下层坩埚、中环、上层坩埚以及封帽，石英异型管上方覆盖石英棉。生长炉针对8英寸锗单晶生长特点，结构精妙，温区设计合理。
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公开(公告)号：CN205917343U
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201620584182.6
申请日：2016-06-16
申请人： 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 , 昆明云锗高新技术有限公司 , 云南鑫耀半导体材料有限公司
摘要： 可拆分VGF单晶生长坩埚中环，涉及一种装料装置部件，尤其是一种可拆分VGF单晶生长坩埚中环。可拆分VGF单晶生长坩埚中环，该中环放置于上层坩埚与下层坩埚中间，上层坩埚与下层坩埚放置在石英管内，其特征在于该中环由石英外环、石英斜面和石英横杆组成，石英斜面放置于石英外环内，石英斜面上设置石英横杆,石英横杆抵在石英管管壁上，起固定作用。可拆分VGF单晶生长坩埚中环，设计科学，使用方便，有效降低成本，并且由于石英斜面和石英横杆可以重复利用，大幅提高了单位时间内的加工效率，对企业提高效率、降低成本有重要作用。
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公开(公告)号：CN204125561U
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201420661118.4
申请日：2014-11-07
申请人： 云南中科鑫圆晶体材料有限公司
摘要： 一种VGF锗单晶生长炉芯模具，涉及一种模具，尤其是一种用于VGF锗单晶生长过程中，简化炉芯制作过程，便于固定测温热偶位置的VGF锗单晶生长炉芯模具。本实用新型的VGF锗单晶生长炉芯模具，其特征在于该模具包括底座和连杆，底座与连杆均为圆柱体，连杆的横截面直径小于底座的横截面直径，连杆设置在底座顶部且与底座保持同轴，底座两侧壁上均设置有凹槽，凹槽为两个，对称设置在底座两侧壁上。本实用新型的VGF锗单晶生长炉芯模具，设计科学，结构简单，使用方便，简化了炉芯的制作过程，测温热偶位置放置准确，提高炉芯的制作效率与成功率。
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公开(公告)号：CN204198896U
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201420661302.9
申请日：2014-11-07
申请人： 云南中科鑫圆晶体材料有限公司
IPC分类号： C30B11/00
摘要： 一种单晶生长装料用双层坩埚，涉及一种装料装置，尤其是一种通过提高坩埚高度，提高生产效率的单晶生长装料用双层坩埚。本实用新型的单晶生长装料用双层坩埚，其特征在于该双层坩埚包括石英管、上层坩埚、下层坩埚、中环以及石英封帽，上层坩埚与下层坩埚放置在石英管内，且上层坩埚设置在下层坩埚上方，中环放置在上层坩埚与下层坩埚之间，石英封帽设置在石英管顶部。本实用新型的单晶生长装料用双层坩埚，设计科学，结构简单，使用方便，将现有工艺中使用的单层坩埚变为双层坩埚，将原有每次7-8Kg的加工量提高到10Kg以上，提高了单位时间内的加工效率，有利于企业提高产能，降低单位成本，提高利润。
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