中排气式单晶炉
摘要:
一种中排气式单晶炉,包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,热场包括坩埚、安装座、加热器、保温层、中排气组件,在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套,中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环,第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧,第一排气管的上端与排气环连接,第二排气管的上端与排气环连接,排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底,本实用新型通过中排气组件的设置,将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部,如此,不仅解决了因排气带走热量的问题,也不存在挥发物堵塞排气管的问题。
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