- 专利标题： 一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统
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申请号： CN201820814895.6申请日： 2018-05-29
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公开(公告)号： CN208478309U公开(公告)日： 2019-02-05
- 发明人: 张振久 , 刘明俊 , 肖海兵
- 申请人： 深圳信息职业技术学院
- 申请人地址： 广东省深圳市龙岗区龙城街道龙翔大道2188号
- 专利权人： 深圳信息职业技术学院
- 当前专利权人： 深圳信息职业技术学院
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市龙岗区龙城街道龙翔大道2188号
- 代理机构： 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司
- 代理商 彭家恩; 彭愿洁
- 主分类号： H01L21/68
- IPC分类号： H01L21/68 ; H01L21/66
摘要：
一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统，由于使用两个图像传感器通过光学成像装置，分别获取晶圆的整体图像和边缘图像，依据晶圆的整体图像和边缘图像获取晶圆承片台的调节参数，进而完成晶圆对准，使得可采用图像分辨率相对较低的图像传感器实现晶圆对准，降低生成产成本的同时提高晶圆对准效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
IPC分类:
