Utility Model
- Patent Title: 一种浮结型肖特基势垒二极管
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Application No.: CN201920806491.7Application Date: 2019-05-29
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Publication No.: CN210723043UPublication Date: 2020-06-09
- Inventor: 宋庆文 , 张玉明 , 汤晓燕 , 袁昊 , 吴勇 , 何艳静 , 韩超 , 梁家铖
- Applicant: 西安电子科技大学芜湖研究院
- Applicant Address: 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包产业园4号楼1205室
- Assignee: 西安电子科技大学芜湖研究院
- Current Assignee: 西安电子科技大学芜湖研究院
- Current Assignee Address: 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包产业园4号楼1205室
- Agency: 西安嘉思特知识产权代理事务所
- Agent 刘长春
- Main IPC: H01L29/872
- IPC: H01L29/872 ; H01L21/329

Abstract:
本实用新型涉及一种浮结型肖特基势垒二极管,包括:衬底层1;外延层2,位于所述衬底层1上层;浮结层4,位于所述外延层2上层的两侧;绝缘型多晶硅层5,位于所述浮结层4上层;沟槽6,位于所述绝缘型多晶硅层5上层;肖特基接触阴极7,位于所述衬底层1下层;肖特基接触阳极8,覆盖所述外延层2、所述绝缘型多晶硅层5和所述沟槽6。本实用新型提出的二极管,通过改善浮结型肖特基势垒二极管的工艺步骤,不需要二次生长外延层,增大了器件击穿电压,减小了导通电阻,提升了功率优值,降低了工艺难度和成本。
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IPC分类: