一种搬运机器人
摘要:
本实用新型公开一种搬运机器人,涉及晶圆搬运技术领域。所述搬运机器人。包括机器人本体、机械臂和夹具,机器人本体上设置有承载台,承载台上设置有至少一个用于存放OC工件的容置区,且容置区内设置有防震装置;机械臂安装在机器人本体上;夹具安装在机械臂远离承载台的一端,夹具上设有视觉定位相机,用于获取OC工件的位置信息,夹具在机械臂的驱动下夹持OC工件放至容置区中或从容置区中将OC工件取出;本实用新型在使用时,一次可以转移多个OC工件,且具有缓冲防震效果,不仅提高了安全性,还提高了搬运的效率。
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