本实用新型涉及的一种多辉光等离子表面智能冶金设备，包括水冷系统、进气系统、控制系统、电极系统和真空系统，水冷系统、进气系统、电极系统和真空系统分别与控制系统信号连接；水冷系统包括循环水泵和冷却水管，冷却水管与真空炉的腔体连接，电极系统包括供电单元和电极结构，供电单元与控制系统信号连接；电极结构包括2根源极杆和1根阴极杆，2根源极杆均连接有靶材，工件连接阴极杆。本实用新型的有益效果是：工件处于阴极，电压小，电流高，一方面阴极电压在工件表面处产生的等离子体可以净化、轰击工件，结合高电流提供的加热效果，提升所渗元素的扩散效果；另一方面低电压确保离子在电场作用下渗入并沉积在工件表面。