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公开(公告)号：CN115584474A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202210247603.6
申请日：2022-03-14
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司
摘要： 本发明涉及的一种多辉光等离子表面智能冶金设备，包括水冷系统、进气系统、控制系统、电极系统和真空系统，水冷系统、进气系统、电极系统和真空系统分别与控制系统信号连接；水冷系统包括循环水泵和冷却水管，冷却水管与真空炉的腔体连接，电极系统包括供电单元和电极结构，供电单元与控制系统信号连接；电极结构包括2根源极杆和1根阴极杆，2根源极杆均连接有靶材，工件连接阴极杆。本发明的有益效果是：工件处于阴极，电压小，电流高，一方面阴极电压在工件表面处产生的等离子体可以净化、轰击工件，结合高电流提供的加热效果，提升所渗元素的扩散效果；另一方面低电压确保离子在电场作用下渗入并沉积在工件表面。
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公开(公告)号：CN115449752A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202111652218.1
申请日：2021-12-30
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司
摘要： 一种高硅钢材料的制备方法，步骤包括靶材、金属基材表面清理；排除密闭容器内空气、通保护气；双辉光等离子预轰击靶材和基材，净化表面；等离子溅射、加热、保温；缓慢冷却取出。预轰击靶材、基材，去除表面吸附层、活化基材，交替升高基材电压、靶材电压，使靶材中的合金元素被离子轰击而溅射出来、扩散进入基材内部形成表面高硅钢层。“双辉光等离子表面冶金技术”制备高硅钢的工艺简单易行、可控性高、成本低、无污染且基体和表面的结合力高，适合大规模产业化生产；更重要的是该方法采用交替离子轰击、扩渗速度快，结合强度高，得到硅含量均匀分布或呈梯度分布的高硅钢材料，为制备更高品质的无噪音、低铁损的高硅钢产业化奠定基础。
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公开(公告)号：CN116288201A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310163390.3
申请日：2023-02-24
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司
摘要： 本发明是通过如下的技术方案来实现：一种铁碳合金靶材及其薄膜制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、铁碳合金靶制备：S1.1、用无水乙醇擦拭过的高纯石墨靶材(99.96％)，放入双层辉光等离子溅射炉体内的阴极载物台上，样品上方的铁基合金板为源极靶材，样品与靶材之间的间距为工件的极间距；S1.2、打开双层辉光等离子溅射成膜设备以，使用机械泵将镀膜炉体气压抽至2‑5Pa；S1.3、充入氩气到30‑35Pa，打开阴极工件电源并施加300‑400V电压。本发明优点在于，石墨靶材经过双层辉光等离子与磁控复合溅射后，表层铁碳元素相互扩散紧密集合，再在磁控溅射作用下同时产生溅射效应，增强了体系的辉光放电成膜效率，溅射出的铁碳元素形成质量较好。
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公开(公告)号：CN218290270U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222639428.3
申请日：2022-10-09
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司(CN)
摘要： 本实用新型公开了一种易于拆装的升降式实验炉用支架，包括：底板，其上端设置有连接组件，且连接组件的上端安装有支撑板，所述支撑板的内端设置有平板，所述平板的外端四个角均设置有支撑腿；放置板，其安装在支撑腿的上端，且放置板的后侧设置有三角板，所述三角板的内端通过螺栓固定有衔接组件；竖杆，其设置在衔接组件的内部，且竖杆的内端设置有辅助块，所述竖杆的上端固定有顶板，所述衔接组件由第一衔接块、第二衔接块、连接盘、电机和皮带构成；第一衔接块，其设置在支撑板的后端。该易于拆装的升降式实验炉用支架，试验炉底部可调，防止造成底部渗水的情况发生，同时在对实验炉使用时，便于对其高度进行调整。
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公开(公告)号：CN218183581U
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202221891685.X
申请日：2022-07-22
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种针对等离子设备的电极保护机构，包括炉内电极杆、铜电极、炉底电极管、炉底电极管法兰、电极法兰、电极固定套、电极二段固定套和金属保护套，电极固定套插入到电极法兰底部，完全贴合，又填满炉底电极管起到隔绝及与支撑作用，电极二段固定套为金属保护套起到定位固定作用，且方便维护，通电以后炉内电极杆会产生辉光放电，金属保护套内的间隙保护就会起到辉光的隔绝作用，保护了电极机构及设备受到辉光的影响，本实用新型解决了真空离子镀膜电极存在的弧光放电现象，极大的提高了工作效率及设备寿命。
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公开(公告)号：CN219449848U
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202220546972.0
申请日：2022-03-14
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司
摘要： 本实用新型涉及的一种多辉光等离子表面智能冶金设备，包括水冷系统、进气系统、控制系统、电极系统和真空系统，水冷系统、进气系统、电极系统和真空系统分别与控制系统信号连接；水冷系统包括循环水泵和冷却水管，冷却水管与真空炉的腔体连接，电极系统包括供电单元和电极结构，供电单元与控制系统信号连接；电极结构包括2根源极杆和1根阴极杆，2根源极杆均连接有靶材，工件连接阴极杆。本实用新型的有益效果是：工件处于阴极，电压小，电流高，一方面阴极电压在工件表面处产生的等离子体可以净化、轰击工件，结合高电流提供的加热效果，提升所渗元素的扩散效果；另一方面低电压确保离子在电场作用下渗入并沉积在工件表面。
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公开(公告)号：CN218296791U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222198911.2
申请日：2022-08-22
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司(CN)
IPC分类号： F27D21/02
摘要： 本实用新型公开了一种便于拆装的真空炉前观察窗，包括第一安装板，所述第一安装板的后侧安装有第二安装板，且第二安装板的前端内侧设置有第一密封圈，所述第一密封圈的内侧安装有透明板；固定杆，其单体分别设置在第一安装板的左右两侧并与第二安装板相连接，所述固定杆的前端外侧安装有设置在第一安装板内侧的定位板，所述第一安装板的左端内侧安装有第一挡板；衔接轮，其安装在第一挡板和第二挡板的上侧并与第一安装板相连接，所述第一挡板和第二挡板的前端设置有把手，所述定位杆的下侧安装有弹簧。该便于拆装的真空炉前观察窗，有利于对装置进行拆装，有利于对装置进行防护，且提高了该装置的密封性。
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公开(公告)号：CN218175096U
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202222288691.2
申请日：2022-08-30
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司
IPC分类号： C23C14/50
摘要： 本实用新型公开了一种插片式真空镀膜工装，包括托盘架，所述托盘架的左端安装有阴极电极杆，且托盘架的右端上表面设置有固定工件，所述固定工件的外端下侧设置有垫片，所述插片式工装架的左端内侧开设有限位插槽，且限位插槽的内部从左往右分别设置有靶材插片和带孔靶材片，所述插片式工装架的外侧设置有聚能罩；分段支撑架，其设置在插片式工装架的右端下侧，所述分段支撑架的左端设置有固定夹，且固定夹的内部设置有与插片式工装架相连接的调节栓，所述分段支撑架的右端内侧设置有限位支撑杆。该插片式真空镀膜工装，操作简单，增强使用范围，能够进行稳定的连接安装，且提高了该装置的实用效果。
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公开(公告)号：CN219656599U
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202320787963.5
申请日：2023-04-11
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司
IPC分类号： F27D1/12
摘要： 本实用新型公开了一种可进行水循环的水冷真空炉壳，包括放置板，其上端外侧固定安装有固定板，且固定板的上端外侧连接有限位机构，并且限位机构包括移动块、夹持块、弹簧和连接块，所述放置板的上端后侧固定安装有冷凝水箱；真空炉壳本体，其连接在限位机构的内侧，且真空炉壳本体的右端外侧固定安装有定位块，所述真空炉壳本体的右端内侧固定安装有密封块，且密封块的右端外侧连接有端盖，所述端盖的左端开设有凹槽，且端盖的左端外侧安装有活动块，并且活动块的中部连接有安装杆。该可进行水循环的水冷真空炉壳，方便对真空炉壳进行循环水冷，方便对真空炉端盖进行打开，且方便对真空炉进行安装。
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公开(公告)号：CN218294578U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222052883.3
申请日：2022-08-05
申请人： 苏州襄行辉光技术有限公司(CN)
摘要： 本实用新型公开了一种便于安装的真空阀门，包括：仓体，其右端面安装有外接管道，所述仓体的上端安装有第一阀体，所述第一阀体的下端右侧设置有第二出压口，所述支撑块的上端面设置有支撑杆，且支撑杆的外侧安装有第一弹簧；连接块，其设置于第一弹簧的上端面，且连接块的外侧安装有橡胶圈，所述第一阀体的上端左右两侧均开设有排压孔，所述第二阀体的内部上端设置有第二弹簧，且第二弹簧的下端安装有进压组件，所述第二阀体的下端面开设有进压孔。该便于安装的真空阀门，其具备便于安装的功能，可以对不同部件进行拆分检测，具备分离的增压和泄压口，可以杜绝使用单一阀口造成的过度磨损，具备多重泄压口。
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