一种铁碳合金靶材及其薄膜制备方法

    公开(公告)号:CN116288201A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310163390.3

    申请日:2023-02-24

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/14

    摘要: 本发明是通过如下的技术方案来实现:一种铁碳合金靶材及其薄膜制备方法,其特征在于:包括以下步骤:S1、铁碳合金靶制备:S1.1、用无水乙醇擦拭过的高纯石墨靶材(99.96%),放入双层辉光等离子溅射炉体内的阴极载物台上,样品上方的铁基合金板为源极靶材,样品与靶材之间的间距为工件的极间距;S1.2、打开双层辉光等离子溅射成膜设备以,使用机械泵将镀膜炉体气压抽至2‑5Pa;S1.3、充入氩气到30‑35Pa,打开阴极工件电源并施加300‑400V电压。本发明优点在于,石墨靶材经过双层辉光等离子与磁控复合溅射后,表层铁碳元素相互扩散紧密集合,再在磁控溅射作用下同时产生溅射效应,增强了体系的辉光放电成膜效率,溅射出的铁碳元素形成质量较好。

    一种具有完全氧化疏水表面的耐腐蚀铜材料

    公开(公告)号:CN118854397A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411038364.9

    申请日:2024-07-31

    发明人: 江凡 吴红艳 王卫

    IPC分类号: C25D5/50 C22F1/08 C25D3/38

    摘要: 本发明公开了一种具有完全氧化疏水表面的耐腐蚀铜材料,该耐腐蚀铜材料表面为氧化铜,且耐腐蚀铜材料表面的接触角大于95°且小于150°,该耐腐蚀材料铜材料通过以下方法制备:以氯化胆碱/乙二醇低共熔离子液体作为基础电解质,以二水合氯化铜为离子源,制备电沉积体系;然后以铜块为阴极、铜片为阳极,采用直流电沉积法制备纯铜涂层;将纯铜涂层进行热处理,而后冷却即得。本发明采用疏水性结构结合氧化物表面提升铜材料的耐腐蚀性能,与超疏水技术相比,耐腐蚀性能得到了进一步提升,防腐效果更加明显,为铜材料的腐蚀防护提供了新的手段。

    一种多辉光等离子表面智能冶金设备

    公开(公告)号:CN115584474A

    公开(公告)日:2023-01-10

    申请号:CN202210247603.6

    申请日:2022-03-14

    摘要: 本发明涉及的一种多辉光等离子表面智能冶金设备,包括水冷系统、进气系统、控制系统、电极系统和真空系统,水冷系统、进气系统、电极系统和真空系统分别与控制系统信号连接;水冷系统包括循环水泵和冷却水管,冷却水管与真空炉的腔体连接,电极系统包括供电单元和电极结构,供电单元与控制系统信号连接;电极结构包括2根源极杆和1根阴极杆,2根源极杆均连接有靶材,工件连接阴极杆。本发明的有益效果是:工件处于阴极,电压小,电流高,一方面阴极电压在工件表面处产生的等离子体可以净化、轰击工件,结合高电流提供的加热效果,提升所渗元素的扩散效果;另一方面低电压确保离子在电场作用下渗入并沉积在工件表面。

    一种还原氧化石墨烯复合气凝胶材料及其应用

    公开(公告)号:CN118807834A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410875308.4

    申请日:2024-07-02

    摘要: 本发明公开了一种还原氧化石墨烯复合气凝胶材料及其应用,该还原氧化石墨烯复合气凝胶材料通过以下方法制备:取氧化石墨烯分散液、抗坏血酸水溶液,以及聚多巴胺分散液或三氧化二钛分散液,混合后充分振荡均匀,加热形成水凝胶,再冷冻干燥获得气凝胶;将气凝胶浸泡在多巴胺水溶液中,得到聚多巴胺包覆的气凝胶;再将聚多巴胺包覆的气凝胶置于醇类还原剂中,加入贵金属化合物,混匀后加热即得。本发明制备的复合材料比表面积大,可作为催化剂载体,将金属纳米颗粒均匀负载在气凝胶表面。本发明所制备的复合材料工艺简单,同时具有良好的催化性能。

    一种针对等离子设备的电极保护机构

    公开(公告)号:CN218183581U

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202221891685.X

    申请日:2022-07-22

    IPC分类号: H05H1/34 H05H1/28

    摘要: 本实用新型公开了一种针对等离子设备的电极保护机构,包括炉内电极杆、铜电极、炉底电极管、炉底电极管法兰、电极法兰、电极固定套、电极二段固定套和金属保护套,电极固定套插入到电极法兰底部,完全贴合,又填满炉底电极管起到隔绝及与支撑作用,电极二段固定套为金属保护套起到定位固定作用,且方便维护,通电以后炉内电极杆会产生辉光放电,金属保护套内的间隙保护就会起到辉光的隔绝作用,保护了电极机构及设备受到辉光的影响,本实用新型解决了真空离子镀膜电极存在的弧光放电现象,极大的提高了工作效率及设备寿命。

    一种多辉光等离子表面智能冶金设备

    公开(公告)号:CN219449848U

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202220546972.0

    申请日:2022-03-14

    摘要: 本实用新型涉及的一种多辉光等离子表面智能冶金设备,包括水冷系统、进气系统、控制系统、电极系统和真空系统,水冷系统、进气系统、电极系统和真空系统分别与控制系统信号连接;水冷系统包括循环水泵和冷却水管,冷却水管与真空炉的腔体连接,电极系统包括供电单元和电极结构,供电单元与控制系统信号连接;电极结构包括2根源极杆和1根阴极杆,2根源极杆均连接有靶材,工件连接阴极杆。本实用新型的有益效果是:工件处于阴极,电压小,电流高,一方面阴极电压在工件表面处产生的等离子体可以净化、轰击工件,结合高电流提供的加热效果,提升所渗元素的扩散效果;另一方面低电压确保离子在电场作用下渗入并沉积在工件表面。