实用新型
- 专利标题： 一种多晶硅还原炉底盘以及多晶硅还原炉
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申请号： CN202322897345.9申请日： 2023-10-26
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公开(公告)号： CN220999257U公开(公告)日： 2024-05-24
- 发明人: 王文 , 银波 , 刘兴平 , 范协诚 , 冯留建 , 何隆 , 穆凯代斯·太外库力
- 申请人： 新特能源股份有限公司 , 新特硅基新材料有限公司
- 申请人地址： 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园;
- 专利权人： 新特能源股份有限公司,新特硅基新材料有限公司
- 当前专利权人： 新特能源股份有限公司,新特硅基新材料有限公司
- 当前专利权人地址： 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园;
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 邓伯英; 罗建民
- 主分类号： C01B33/035
- IPC分类号： C01B33/035
摘要：
本实用新型提供一种多晶硅还原炉底盘，所述底盘的盘面上开设有多个电极孔，用于连接硅棒，所述电极孔的布局方式是，从内至外依次布置在以盘面中心为形心的多个电极环带上，每个电极环带上的电极孔的数目为6n个，其中n为各电极环带从内至外的排列序号。本实用新型的多晶硅还原炉底盘结构布局合理，能够有效平衡热场，降低能耗和提高质量，促进多晶硅行业技术水平的提升，本实用新型还提供一种多晶硅还原炉。