实用新型
CN2751298Y 针尖扫描的光点跟踪装置
失效 - 放弃
- 专利标题: 针尖扫描的光点跟踪装置
- 专利标题(英): Point follower of needle-point scanning
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申请号: CN200420110605.8申请日: 2004-12-02
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公开(公告)号: CN2751298Y公开(公告)日: 2006-01-11
- 发明人: 杨金涛 , 徐文东 , 吉小明
- 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
- 申请人地址: 上海市800-211邮政信箱
- 专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海爱建纳米科技发展有限公司
- 当前专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海爱建纳米科技发展有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市800-211邮政信箱
- 代理机构: 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 张泽纯
- 主分类号: G01N13/16
- IPC分类号: G01N13/16 ; G12B21/08
摘要:
一种针尖扫描的光点跟踪装置,其特征是该装置由五个模块构成:第一模块包括y向扫描器及固定在其上的第一反射体,第二模块包括x向扫描器及固定在其上的第二反射体,第三模块即z向扫描器;第四模块包括聚焦透镜、微悬臂针尖和固定该微悬臂针尖的连接体,第五模块包括激光器、成像透镜和四象限光电探测器,该四象限光电接收器放在成像透镜焦平面,激光器和四象限光电探测器各有一个调节机构;本实用新型装置结构简单,各模块调整和更换方便,激光聚焦光点在扫描过程中能稳定地跟踪微悬臂针尖的运动,保证微悬臂针尖没有发生实际偏转的情况下,反射光也不会产生相对光电探测器移动。