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公开(公告)号：CN1273820C
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200410054325.4
申请日：2004-09-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
摘要： 一种针尖扫描的光点跟踪装置，其特征是该装置由五个模块构成：第一模块包括y向扫描器及固定在其上的第一反射体，第二模块包括x向扫描器及固定在其上的第二反射体，第三模块即z向扫描器；第四模块包括聚焦透镜、微悬臂针尖和固定该微悬臂针尖的连接体，第五模块包括激光器、成像透镜和四象限光电探测器，该四象限光电接收器放在成像透镜焦平面，激光器和四象限光电探测器各有一个调节机构；本发明装置结构简单，各模块调整和更换方便，激光聚焦光点在扫描过程中能稳定地跟踪微悬臂针尖的运动，保证微悬臂针尖没有发生实际偏转的情况下，反射光也不会产生相对光电探测器移动。
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公开(公告)号：CN1259558C
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200410054324.X
申请日：2004-09-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q30/025
摘要： 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第一模块为步进电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步进电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发明模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。
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公开(公告)号：CN1249419C
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200410053442.9
申请日：2004-08-04
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
摘要： 一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置，其构成是：所述的激光杠杆：包括激光器，在激光器出射的平行光束的前进方向上有反射镜，该反射镜配有调节装置，在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬臂针尖，该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光线G的光轴上，且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点，在微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两维可调的四象限光电探测器；一xy向扫描器和固定在该xy向扫描器上的z向扫描器形成所述的组合扫描器件；元器件模块化。本发明具有结构简单，各单元部件易于调整和更换，激光聚焦光点跟踪可靠的优点。
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公开(公告)号：CN1779436A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200410084619.1
申请日：2004-11-26
申请人： 上海爱建纳米科技发展有限公司 , 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种用于原子力显微镜的同轴照明显微镜光学系统，包括同光轴置放的八个成像透镜，以两直角棱镜的两斜平面胶合而成的立方胶合棱镜以及采用科勒照明结构的均匀照明光源。光源聚焦在视场光阑上，视场光阑成像在被探测物上，构成均匀照明。两两透镜胶合成三组双胶合透镜，立方胶合棱镜置放在成像透镜中间，同时又与前后成像透镜以及照明透镜胶合在一起，减少了空气间隙。不仅有利于像差矫正，使像差变小。同时有利于装调，结构紧凑，系统体积小。靠近原子力显微镜探测针尖的第一双胶合透镜可以沿着光轴前后移动，使系统在精调焦时，不影响成像质量。本发明光学系统具有长(大于50mm)工作距离，大(大于0.25)数值孔径，放大倍率5倍以上，成像质量接近衍射极限，畸变小于0.2％的特点。
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公开(公告)号：CN2762110Y
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200420110606.2
申请日：2004-12-02
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
摘要： 一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置，其构成是：所述的激光杠杆：包括激光器，在激光器出射的平行光束的前进方向上有反射镜，该反射镜配有调节装置，在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬臂针尖，该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光线G的光轴上，且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点，在微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两维可调的四象限光电探测器；一xy向扫描器和固定在该xy向扫描器上的z向扫描器形成所述的组合扫描器件；元器件模块化。本实用新型具有结构简单，各单元部件易于调整和更换，激光聚焦光点跟踪可靠的优点。
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公开(公告)号：CN2751298Y
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200420110605.8
申请日：2004-12-02
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
摘要： 一种针尖扫描的光点跟踪装置，其特征是该装置由五个模块构成：第一模块包括y向扫描器及固定在其上的第一反射体，第二模块包括x向扫描器及固定在其上的第二反射体，第三模块即z向扫描器；第四模块包括聚焦透镜、微悬臂针尖和固定该微悬臂针尖的连接体，第五模块包括激光器、成像透镜和四象限光电探测器，该四象限光电接收器放在成像透镜焦平面，激光器和四象限光电探测器各有一个调节机构；本实用新型装置结构简单，各模块调整和更换方便，激光聚焦光点在扫描过程中能稳定地跟踪微悬臂针尖的运动，保证微悬臂针尖没有发生实际偏转的情况下，反射光也不会产生相对光电探测器移动。
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公开(公告)号：CN2791672Y
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200420114737.8
申请日：2004-12-24
申请人： 上海爱建纳米科技发展有限公司 , 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种观察装置的同轴照明显微镜光学系统，包括同光轴置放的八个成像透镜，以两直角棱镜的两斜平面胶合而成的立方胶合棱镜以及采用科勒照明结构的均匀照明光源。光源聚焦在视场光阑上，视场光阑成像在被探测物上，构成均匀照明。两两透镜胶合成三组双胶合透镜，立方胶合棱镜置放在成像透镜中间，同时又与前后成像透镜以及照明透镜胶合在一起，减少了空气间隙。不仅有利于像差矫正，使像差变小。同时有利于装调，结构紧凑，系统体积小。靠近原子力显微镜探测针尖的第一双胶合透镜可以沿着光轴前后移动，使系统在精调焦时，不影响成像质量。本实用新型光学系统具有长工作距离(大于50mm)，大数值孔径(大于0.25)，放大倍率5倍以上，成像质量接近衍射极限，畸变小于0.2％的特点。
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公开(公告)号：CN2733342Y
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200420082610.2
申请日：2004-09-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q10/04 , G01Q10/02 , G01Q20/02 , G01Q30/025
摘要： 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本实用新型模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。
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公开(公告)号：CN1587982A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410054324.X
申请日：2004-09-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q30/025
摘要： 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发明模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。
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公开(公告)号：CN1587983A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410054325.4
申请日：2004-09-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种针尖扫描的光点跟踪装置，其特征是该装置由五个模块构成：第一模块包括y向扫描器及固定在其上的第一反射体，第二模块包括x向扫描器及固定在其上的第二反射体，第三模块即z向扫描器；第四模块包括聚焦透镜、微悬臂针尖和固定该微悬臂针尖的连接体，第五模块包括激光器、成像透镜和四象限光电探测器，该四象限光电接收器放在成像透镜焦平面，激光器和四象限光电探测器各有一个调节机构；本发明装置结构简单，各模块调整和更换方便，激光聚焦光点在扫描过程中能稳定地跟踪微悬臂针尖的运动，保证微悬臂针尖没有发生实际偏转的情况下，反射光也不会产生相对光电探测器移动。
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