发明公开
- 专利标题： Process for the production of highly heat-resistant relief structures, and their use
- 专利标题（中）： 生产高耐热缓冲结构的方法及其使用
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申请号： EP81104179申请日： 1981-06-01
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公开(公告)号： EP0041678A3公开(公告)日： 1982-06-23
- 发明人: Ahne, Helmut, Dr. , Kühn, Eberhard , Rubner, Roland, Dr.
- 申请人： Siemens Aktiengesellschaft
- 专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 优先权： DE3021787 19800610
- 主分类号： G03F07/26
- IPC分类号： G03F07/26 ; G03F07/10 ; G03C01/70 ; C08G73/06 ; C08L79/04 ; C08L79/08 ; H01B03/30
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