发明授权
- 专利标题： A method for improving the flatness of etched mirror facets
- 专利标题（中）： 一种改进蚀刻镜面的方法
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申请号： EP89810463.3申请日： 1989-06-16
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公开(公告)号： EP0402556B1公开(公告)日： 1993-10-06
- 发明人: Buchmann, Peter Leo, Dr. , Vettiger, Peter , Voegeli, Otto, Dr. , Webb, David John, Dr.
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构： Barth, Carl Otto
- 主分类号： H01S3/025
- IPC分类号： H01S3/025 ; H01S3/085 ; H01S3/19 ; G02B6/12
公开/授权文献
- EP0402556A1 A method for improving the flatness of etched mirror facets 公开/授权日：1990-12-19
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