Melamine-containing photoresists of improved sensitivity

发明授权

EP0407086B1 Melamine-containing photoresists of improved sensitivity 失效

标题翻译：含蜜胺的光敏电阻以高灵敏度

专利标题： Melamine-containing photoresists of improved sensitivity
专利标题（中）： 含蜜胺的光敏电阻以高灵敏度
申请号： EP90307008.4

申请日： 1990-06-27
公开(公告)号： EP0407086B1

公开(公告)日： 1997-02-26
发明人: Graziano, Karen Ann , Bogan, Leonard Edward, Jr. , Olsen, Robert James , Anderson McIlnay, Susan Elizabeth
申请人： ROHM AND HAAS COMPANY
申请人地址： Independence Mall West Philadelphia Pennsylvania 19105 US
专利权人： ROHM AND HAAS COMPANY
当前专利权人： ROHM AND HAAS COMPANY
当前专利权人地址： Independence Mall West Philadelphia Pennsylvania 19105 US
代理机构： Tanner, James Percival
优先权： US376713 19890707
主分类号： G03F7/038
IPC分类号： G03F7/038 ; G03F7/004

公开/授权文献

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IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/004	.感光材料（G03F7/12，G03F7/14优先）
G03F7/038	..高分子化合物被制备成不溶解的或非均匀可湿的（G03F7/075优先；高分子叠氮化合物入G03F7/012；高分子重氮化合物入G03F7/021）