发明授权
- 专利标题： Amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoff
- 专利标题（英）： Hydrogen containing amorphous carbon
- 专利标题（中）： 非晶氢化碳
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申请号： EP94102740.1申请日： 1994-02-23
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公开(公告)号： EP0617462B1公开(公告)日： 1999-04-28
- 发明人: Hammerschmidt, Albert, Dr. , Mandel, Thomas
- 申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
- 申请人地址： Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
- 专利权人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
- 当前专利权人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
- 当前专利权人地址： Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
- 优先权： DE4307425 19930309
- 主分类号： H01L21/324
- IPC分类号： H01L21/324 ; H01L21/28 ; H01L29/43 ; H01L21/3105
公开/授权文献
- EP0617462A3 Amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoff 公开/授权日：1995-03-15
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