发明授权
- 专利标题： METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING PLASMA
- 专利标题（中）： 方法和装置的等离子体生成
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申请号： EP96935990.0申请日： 1996-09-26
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公开(公告)号： EP0806126B1公开(公告)日： 2003-11-05
- 发明人: DIBLE, Robert, D.
- 申请人： LAM RESEARCH CORPORATION
- 申请人地址： 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538 US
- 专利权人： LAM RESEARCH CORPORATION
- 当前专利权人： LAM RESEARCH CORPORATION
- 当前专利权人地址： 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538 US
- 代理机构： O'Byrne, Daniel Joseph
- 优先权： US536574 19950929
- 国际公布： WO97012502 19970403
- 主分类号： H05H1/46
- IPC分类号： H05H1/46 ; H01J37/32
公开/授权文献
- EP0806126A1 METHODS AND APPARATUS FOR GENERATING PLASMA 公开/授权日：1997-11-12
信息查询
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