发明授权
- 专利标题： Toroidal filament for plasma generation
- 专利标题（中）： 环形灯丝制造等离子体
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申请号： EP99306209.0申请日： 1999-08-05
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公开(公告)号： EP0980088B1公开(公告)日： 2003-10-08
- 发明人: Chen, Jiong , Capodilupo, Ronald Anthony , Barusso, Scott , Ring, Philip John , Jin, Kui
- 申请人： Axcelis Technologies, Inc.
- 申请人地址： 55 Cherry Hill Drive Beverly, MA 01915 US
- 专利权人： Axcelis Technologies, Inc.
- 当前专利权人： Axcelis Technologies, Inc.
- 当前专利权人地址： 55 Cherry Hill Drive Beverly, MA 01915 US
- 代理机构： Burke, Steven David
- 优先权： US130662 19980807
- 主分类号： H01J1/16
- IPC分类号： H01J1/16 ; H01J27/20
公开/授权文献
- EP0980088A1 Toroidal filament for plasma generation 公开/授权日：2000-02-16
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