发明公开
- 专利标题： PARTICLE-OPTICAL DEVICE AND DETECTION MEANS
- 专利标题（中）： 一个粒子检测装置和检测手段
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申请号： EP03759297申请日： 2003-09-18
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公开(公告)号： EP1540692A4公开(公告)日： 2009-04-22
- 发明人: SCHOLTZ JACOB JOHANNES , KNOWLES WILLIAM RALPH , THIEL BRADLEY LAMAR , VAN VEEN GERARDUS , SCHROEMGES RENE PETER MARIE
- 申请人： FEI CO
- 专利权人： FEI CO
- 当前专利权人： FEI CO
- 优先权： US41169902 2002-09-18; US33069102 2002-12-27
- 主分类号： H01J37/244
- IPC分类号： H01J37/244 ; G01N23/00 ; G01Q30/20 ; G01Q70/10 ; H01J20060101 ; H01J37/00 ; H01J37/26 ; H01J37/28
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