发明授权
- 专利标题： Turbomolekularpumpe
- 专利标题（英）： Turbomolecular pump
- 专利标题（中）： 涡轮分子泵
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申请号： EP05003720.9申请日： 2005-02-22
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公开(公告)号： EP1580435B1公开(公告)日： 2011-08-31
- 发明人: Conrad, Armin , Fahrenbach, Peter
- 申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH
- 申请人地址： Berlinerstrasse 43 35614 Asslar DE
- 专利权人： Pfeiffer Vacuum GmbH
- 当前专利权人： Pfeiffer Vacuum GmbH
- 当前专利权人地址： Berlinerstrasse 43 35614 Asslar DE
- 优先权： DE102004012713 20040316
- 主分类号： F04D19/04
- IPC分类号： F04D19/04
公开/授权文献
- EP1580435B2 Turbomolekularpumpe 公开/授权日：2020-11-18
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