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    Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie Membranvakuumpumpe
    5.
    发明公开
    Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie Membranvakuumpumpe 有权
    一种用于校准隔膜真空泵和隔膜真空泵方法

    公开(公告)号：EP2889481A2

    公开(公告)日：2015-07-01

    申请号：EP14192137.9

    申请日：2014-11-06

    申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

    发明人： Conrad, Armin ,  Oberbeck, Sebastian ,  Söhngen, Swen ,  Vorwerk, Peter

    IPC分类号： F04B35/04 ,  F04B37/14 ,  F04B37/16 ,  F04B43/04 ,  F04B51/00

    CPC分类号： F04B51/00 ,  F04B35/045 ,  F04B37/14 ,  F04B37/16 ,  F04B43/04 ,  F04B45/047

    摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie eine Membranvakuumpumpe zur Förderung eines Mediums, mit einem mit einem Schwingspulenantrieb linear antreibbaren Kolben in einem Antriebsraum, mit einer zwischen einem Förderraum und Antriebsraum schwingenden Membran, die den Förderraum und den Antriebsraum trennt, mit einem Membrankopf, der mit der Membran den Förderraum bildet, wobei der Kolben als ein die Membran in Bewegung versetzender und um eine vorbestimmte Wegstrecke bewegbarer Kolben ausgebildet ist, mit einer Vorrichtung zur Erfassung eines Totpunktes und/oder Position des Kolbens, bei dem eine Steuervorrichtung den Totpunkt in Abhängigkeit von dem erfassten Signal der Vorrichtung verstellt.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于在驱动器空间与音圈马达线性驱动活塞校准隔膜真空泵和隔膜真空泵用于输送介质，具有，具有泵室和驱动室膜分离泵送室和驱动室，隔膜头之间的振荡 其与隔膜，其中所述活塞形成为displacementally在运动的膜和可动一个预定距离的活塞与设备，用于检测所述活塞的死点和/或位置，其中，所述止点的控制装置形成的泵送室 根据设备的检测到的信号进行调节。

    Ionisationspumpstufe
    6.
    发明公开
    Ionisationspumpstufe 审中-公开

    公开(公告)号：EP2747123A2

    公开(公告)日：2014-06-25

    申请号：EP13191365.9

    申请日：2013-11-04

    申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

    发明人： Conrad, Armin

    IPC分类号： H01J41/18

    CPC分类号： F15D1/0075 ,  H01J41/12

    摘要： Die Erfindung betrifft eine Ionisationspumpstufe, insbesondere für eine Vakuumpumpe, umfassend einen Einlass für in die Pumpstufe eintretendes Gas, einen mit dem Einlass gasleitend in Verbindung stehenden Ionisierungsabschnitt und eine Ionisierungseinrichtung zur Ionisierung des in den Ionisierungsabschnitt eingetretenen Gases, eine Beschleunigungseinrichtung zur Beschleunigung des in dem Ionisierungsabschnitt vorhandenen ionisierten Gases in Förderrichtung, und einen in Förderrichtung auf den Ionisierungsabschnitt folgenden und mit dem Ionisierungsabschnitt gasleitend in Verbindung stehenden Neutralisierungsabschnitt und eine Neutralisierungseinrichtung zur elektrischen Neutralisierung des in den Neutralisierungsabschnitt eintretenden ionisierten Gases.

    摘要翻译： 电离泵送阶段（10）包括用于进入泵级的气体的入口（12），其中电离部分（14）以导气方式与入口连接。 提供电离单元，用于离子化进入电离部分的气体。 形成加速单元（20），用于在气体的输送方向上加速电离气体。 要输送的气体分子（32,32'）选自具有氢，氧，氮，一氧化碳和二氧化碳分子的组。 包括具有涡轮分子泵送级的真空泵的独立权利要求。

    Gasreibungspumpe
    9.
    发明公开
    Gasreibungspumpe 有权

    公开(公告)号：EP1559915A1

    公开(公告)日：2005-08-03

    申请号：EP04001873.1

    申请日：2004-01-29

    申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

    发明人： Conrad, Armin ,  Stanzel, Jörg

    IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/04 ,  F16C32/06

    CPC分类号： F04D29/057 ,  F04D19/04 ,  F04D29/059 ,  F16C2360/45

    摘要： Gasreibungspumpe mit feststehenden (6) und rotierenden (5), auf einer drehbaren Rotorwelle (4) fixierten, pumpaktiven Bauteilen, wobei die Rotorwelle (4) und die rotierenden pumpaktiven Bauteile (5) Bestandteile des Rotors sind und die Rotorwelle (4) durch zwei beabstandete Radiallager (8, 9), von denen eines näher am Schwerpunkt des Rotors als das andere angebracht ist, und einem Axiallager (16) unterstützt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Radiallager (9), welches sich näher am Schwerpunkt des Rotors befindet, ein Gaslager ist. In einer vorteilhaften Ausführung sind die Gaslager als Module ausgeführt und können mit einem zylindrischen Gehäuseteil in Eingriff gebracht und gesichert werden.

    摘要翻译： 气体摩擦泵具有形成转子部分的固定和旋转部件（6,5）。 转子轴（4）通过一个轴向轴承（16）和两个间隔开的径向轴承（8,9）支撑，其中靠近转子重心的一个（9）形成为气体轴承。 轴向轴承也可以是气体轴承。 轴承可以组合成一个模块。

    Gasreibungspumpe
    10.
    发明公开
    Gasreibungspumpe 有权
    气体摩擦泵

    公开(公告)号：EP1205667A3

    公开(公告)日：2002-11-20

    申请号：EP01124630.3

    申请日：2001-10-16

    申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

    发明人： Conrad, Armin ,  Lotz, Heinrich

    IPC分类号： F04D19/04

    CPC分类号： F04D19/046 ,  F04D17/168

    摘要： Die Erfindung betrifft eine Gasreibungspumpe, welche auf der Seite der Ansaugöffnung (2) mit einer zusätzlichen Pumpeinheit (20) ausgerüstet ist. Diese Pumpeinheit befindet sich innerhalb des Gehäuses (1) und ist konkav ausgebildet. Sie ist derart gestaltet, dass eine Gasförderung auch in radialer Richtung stattfindet. Ein großer Teil der reflektierten Moleküle wird wieder eingefangen und somit dem Fördermechanismus wieder unterworfen.