发明授权
- 专利标题： Vibration type MEMS switch and fabricating method thereof
- 专利标题（中）： 振动型和制造工艺的一种微机电开关
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申请号： EP05014807.1申请日： 2005-07-07
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公开(公告)号： EP1619710B1公开(公告)日： 2012-03-21
- 发明人: Lee, Moon-chul , Park, Tae-sik , Jeong, Hee-moon
- 申请人： SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
- 申请人地址： 416 Maetan dong, Paldal-gu Suwon-si, Gyeonggi-do KR
- 专利权人： SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
- 当前专利权人： SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
- 当前专利权人地址： 416 Maetan dong, Paldal-gu Suwon-si, Gyeonggi-do KR
- 代理机构： Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser
- 优先权： KR2004056579 20040720
- 主分类号： H01H59/00
- IPC分类号： H01H59/00
公开/授权文献
- EP1619710A3 Vibration type MEMS switch and fabricating method thereof 公开/授权日：2006-09-20
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