发明授权
- 专利标题： Apparatus for improving silicon processing efficiency
- 专利标题（中）： 用于改善治疗硅的效率的装置
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申请号： EP06075971.9申请日： 2003-08-19
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公开(公告)号： EP1683584B1公开(公告)日： 2009-10-21
- 发明人: Arvidson, Arvid Neil , Graham, Todd Stanley , Messner, Kathryn Elizabeth , Schmidt, Chris Tim , Horstman, Terence Lee
- 申请人： HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORPORATION
- 申请人地址： 12334 Geddes Road Hemlock Michigan 48626 US
- 专利权人： HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORPORATION
- 当前专利权人： HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORPORATION
- 当前专利权人地址： 12334 Geddes Road Hemlock Michigan 48626 US
- 代理机构： Gillard, Richard Edward
- 优先权： US227362 20020822
- 主分类号： B07B13/02
- IPC分类号： B07B13/02 ; B07B13/04 ; C30B15/02 ; C30B29/06
公开/授权文献
- EP1683584A3 Apparatus for improving silicon processing efficiency 公开/授权日：2008-11-12
信息查询
IPC分类:
