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    Apparatus for improving silicon processing efficiency
    1.
    发明公开
    Apparatus for improving silicon processing efficiency 有权
    Vorrichtung zur Verbesserung der Effizienz der Behandlung von Silicium

    公开(公告)号：EP1683584A3

    公开(公告)日：2008-11-12

    申请号：EP06075971.9

    申请日：2003-08-19

    申请人： HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORPORATION

    发明人： Arvidson, Arvid Neil ,  Graham, Todd Stanley ,  Messner, Kathryn Elizabeth ,  Schmidt, Chris Tim ,  Horstman, Terence Lee

    IPC分类号： B07B13/02 ,  B07B13/04 ,  C30B15/02 ,  C30B29/06

    CPC分类号： G01N15/0272 ,  B07B13/02 ,  B07B13/04 ,  C30B15/02 ,  G01N2015/0288

    摘要： A rotary indent classifier for processing polycristalline silicon workpieces includes: (i) a rotating cylinder having a circumferential edge with indents arrayed in increasing size from a first end of the cylinder to a second end of the cylinder, and (ii) a conveyor running longitudinally adjacent the cylinder, for conveying silicon pieces from the first end of the cylinder to the second end of the cylinder.

    摘要翻译： 一种用于处理多晶硅工件以形成适用于切克劳斯基型工艺的多晶硅片的尺寸分布的方法包括：（1）通过化学气相沉积工艺制备多晶硅工件; （2）将多晶硅工件压裂成多晶硅片的混合物，其中多晶硅片具有不同的尺寸; 和（3）将多晶硅片的混合物分选成至少两个尺寸分布。 步骤（2）可以通过热冲击过程进行。 步骤（3）可以使用旋转凹口分类器进行。 一种用于执行该方法的旋转凹口分选机包括：（i）旋转圆筒，其具有沿圆柱体的第一端至第二端的尺寸排列的凹口的圆周边缘，以及（ii）纵向相邻的输送机 气缸，用于将硅片从气缸的第一端输送到气缸的第二端。

    Method and apparatus for improving silicon processing efficiency
    2.
    发明公开
    Method and apparatus for improving silicon processing efficiency 有权
    Verfahren zur Verbesserung der Effizienz der Behandlung von Silicium

    公开(公告)号：EP1391252A1

    公开(公告)日：2004-02-25

    申请号：EP03255135.0

    申请日：2003-08-19

    申请人： HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORPORATION

    发明人： Arvidson, Arvid Neil ,  Graham, Todd Stanley ,  Messner, Kathryn Elizabeth ,  Schmidt, Chris Tim ,  Horstman, Terence Lee

    IPC分类号： B07B13/02 ,  B07B13/04 ,  C30B15/02 ,  C30B29/06

    CPC分类号： G01N15/0272 ,  B07B13/02 ,  B07B13/04 ,  C30B15/02 ,  G01N2015/0288

    摘要： A method for processing polycrystalline silicon workpieces to form size distributions of polycrystalline silicon pieces suitable for use in a Czochralski-type process includes: (1) preparing a polycrystalline silicon workpiece by a chemical vapor deposition process; (2) fracturing the polycrystalline silicon workpiece into a mixture of polycrystalline silicon pieces, where the polycrystalline silicon pieces have varying sizes; and (3) sorting the mixture of polycrystalline silicon pieces into at least two size distributions. Step (2) may be carried out by a thermal shock process. Step (3) may be carried out using a rotary indent classifier. A rotary indent classifier for performing the method includes: (i) a rotating cylinder having a circumferential edge with indents arrayed in increasing size from a first end of the cylinder to a second end of the cylinder, and (ii) a conveyor running longitudinally adjacent the cylinder, for conveying silicon pieces from the first end of the cylinder to the second end of the cylinder.

    摘要翻译： 一种用于处理多晶硅工件以形成适用于切克劳斯基型工艺的多晶硅片的尺寸分布的方法包括：（1）通过化学气相沉积工艺制备多晶硅工件; （2）将多晶硅工件压裂成多晶硅片的混合物，其中多晶硅片具有不同的尺寸; 和（3）将多晶硅片的混合物分选成至少两个尺寸分布。 步骤（2）可以通过热冲击过程进行。 步骤（3）可以使用旋转凹口分类器进行。 一种用于执行该方法的旋转凹口分选机包括：（i）旋转圆筒，其具有沿圆柱体的第一端至第二端的尺寸排列的凹口的圆周边缘，以及（ii）纵向相邻的输送机 气缸，用于将硅片从气缸的第一端输送到气缸的第二端。

    Apparatus for improving silicon processing efficiency
    3.
    发明公开
    Apparatus for improving silicon processing efficiency 有权
    Vorrichtung zur Verbesserung der Effizienz der Behandlung von Silicium

    公开(公告)号：EP1683584A2

    公开(公告)日：2006-07-26

    申请号：EP06075971.9

    申请日：2003-08-19

    申请人： HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORPORATION

    发明人： Arvidson, Arvid Neil ,  Graham, Todd Stanley ,  Messner, Kathryn Elizabeth ,  Schmidt, Chris Tim ,  Horstman, Terence Lee

    IPC分类号： B07B13/02 ,  B07B13/04 ,  C30B15/02 ,  C30B29/06

    CPC分类号： G01N15/0272 ,  B07B13/02 ,  B07B13/04 ,  C30B15/02 ,  G01N2015/0288

    摘要： A method for processing polycrystalline silicon workpieces to form size distributions of polycrystalline silicon pieces suitable for use in a Czochralski-type process includes: (1) preparing a polycrystalline silicon workpiece by a chemical vapor deposition process; (2) fracturing the polycrystalline silicon workpiece into a mixture of polycrystalline silicon pieces, where the polycrystalline silicon pieces have varying sizes; and (3) sorting the mixture of polycrystalline silicon pieces into at least two size distributions. Step (2) may be carried out by a thermal shock process. Step (3) may be carried out using a rotary indent classifier. A rotary indent classifier for performing the method includes: (i) a rotating cylinder having a circumferential edge with indents arrayed in increasing size from a first end of the cylinder to a second end of the cylinder, and (ii) a conveyor running longitudinally adjacent the cylinder, for conveying silicon pieces from the first end of the cylinder to the second end of the cylinder.

    摘要翻译： 一种用于处理多晶硅工件的旋转凹口分级器包括：（i）具有周向边缘的旋转圆筒，其具有从圆柱体的第一端到圆柱体的第二端的尺寸排列的凹口，以及（ii）沿纵向延伸的输送器 邻近气缸，用于将硅片从气缸的第一端输送到气缸的第二端。