发明授权
EP1788401B1 Method and apparatus for testing electrical characteristics of object under test
有权
用于测试对象的电性质的方法和装置将被测试
- 专利标题： Method and apparatus for testing electrical characteristics of object under test
- 专利标题（中）： 用于测试对象的电性质的方法和装置将被测试
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申请号： EP07004065.4申请日： 2004-06-08
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公开(公告)号： EP1788401B1公开(公告)日： 2008-11-05
- 发明人: Suga, Tadatomo , Itoh, Toshihiro , Komatsu, Shigekazu , Kataoka, Kenichi c/o Tokyo Electron AT Limited
- 申请人： TOKYO ELECTRON LIMITED , Suga, Tadatomo , Itoh, Toshihiro
- 申请人地址： 3-6 Akasaka 5-chome Minato-ku Tokyo 107-8481 JP
- 专利权人： TOKYO ELECTRON LIMITED,Suga, Tadatomo,Itoh, Toshihiro
- 当前专利权人： TOKYO ELECTRON LIMITED,Suga, Tadatomo,Itoh, Toshihiro
- 当前专利权人地址： 3-6 Akasaka 5-chome Minato-ku Tokyo 107-8481 JP
- 代理机构： Liesegang, Eva
- 优先权： JP2003164349 20030609
- 主分类号： G01R31/26
- IPC分类号： G01R31/26
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