发明授权
- 专利标题： Method of fabricating nanodevices
- 专利标题（中）： 一种用于制造纳米器件过程
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申请号： EP06126836.3申请日： 2006-12-21
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公开(公告)号： EP1801068B1公开(公告)日： 2012-09-26
- 发明人: Schwind, Gregory , Magera, Gerald , Scipioni, Lawrence
- 申请人： FEI COMPANY
- 申请人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124-5793 US
- 专利权人： FEI COMPANY
- 当前专利权人： FEI COMPANY
- 当前专利权人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124-5793 US
- 代理机构： Bakker, Hendrik
- 优先权： US753561P 20051223; US364800 20060228
- 主分类号： B82B3/00
- IPC分类号： B82B3/00
公开/授权文献
- EP1801068A3 Method of fabricating nanodevices 公开/授权日：2009-11-04
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